新型高精密勻膠機(jī)
主要性能指標(biāo):
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)
旋涂程序:多存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可精確到0.1秒
轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-5,000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm
旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,重復(fù)性< 1rpm
工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3,000 sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec
支持wafer尺寸1cm-300mm(12“圓晶)
旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量)
新型高精密勻膠機(jī)
產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn):
的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸。
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。
on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。
標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速5000rpm,并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。
采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,*生銹,便于清洗。
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發(fā)。
產(chǎn)品外型尺寸:
613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)
全自動(dòng)酸值測(cè)定儀 石油產(chǎn)品酸值自動(dòng)測(cè)定儀型號(hào):TRS-10
多通道便攜式腐蝕測(cè)試儀 型號(hào):CST800E CST800E多通道便攜式腐蝕測(cè)試儀集成了交流阻抗(EIS)測(cè)量原理的優(yōu)點(diǎn),具有易于攜帶、操作簡(jiǎn)便、測(cè)量迅速、顯示結(jié)果直觀等特點(diǎn)。儀器全部采用交流阻抗測(cè)量模式,可以準(zhǔn)確地測(cè)量工作電與參比電間的介質(zhì)電阻Rs,并自動(dòng)從化電阻Rp中減掉介質(zhì)電阻Rs,從而獲得準(zhǔn)確的腐蝕速率,這一點(diǎn)尤其適用于介質(zhì)電阻較大的腐蝕環(huán)境,如含油污水、土壤或混凝土體系。儀器采用定時(shí)自動(dòng)測(cè)量,內(nèi)置實(shí)時(shí)日歷時(shí)鐘,能自動(dòng)定時(shí)喚醒測(cè)量,可用于現(xiàn)場(chǎng)的連續(xù)監(jiān)測(cè)。供電采用交直流自動(dòng)切換,內(nèi)置充電電池(可選),用于現(xiàn)場(chǎng)無(wú)電源情況下使用,滿電狀態(tài)下可以連續(xù)測(cè)量60小時(shí)。
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