分體式勻膠機(jī)SC100-SR
SC100-SR精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。
SC100-SR是一種主機(jī)和觸摸屏分開的分體式勻膠機(jī),主機(jī)被設(shè)計(jì)為更小安裝尺寸或臺面嵌入式安裝來降低操作高度。SC100-SR可與手套箱配套進(jìn)行嵌入式安裝,控制盒放置在臺面上方便移動。
分體式勻膠機(jī)SC100-SR
主要性能指標(biāo):
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)
旋涂程序:多可存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可精確到0.1秒
轉(zhuǎn)動速度:0-10,000rpm(更高速可選)
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,重復(fù)性< 1rpm
工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3,000 sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec
支持wafer尺寸1cm-200mm(8”圓晶)
旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)
產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn):
的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸。
可進(jìn)行嵌入式安裝,降低操作高度。
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。
on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。
標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm,并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。
采用工業(yè)級別伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,*生銹,便于清洗。
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發(fā)。
調(diào)制度測量儀 型號:EE4134 1.用與RF已調(diào)信號的調(diào)制度測量,即調(diào)頻信號的大頻偏和調(diào)幅信號的調(diào)幅深度
便攜式懸浮物測定儀 型號:PSS-200
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