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應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),地礦,電子

掃描開爾文探針系統(tǒng)

開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置，用于測(cè)量導(dǎo)體材料的功函數(shù)(Work Function)或半導(dǎo)體、絕緣表面的表面勢(shì)(Surface Potential)。

材料表面的功函數(shù)通常由上層的1-3層原子或分子決定，所以探針是一種靈敏的表面分析技術(shù)。

我們的探針系統(tǒng)包括：

□單點(diǎn)探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境)；

□開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境)；

□超高真空(UHV)探針；

□濕度控制的腐蝕探針；

我們系統(tǒng)是一款可以被大多數(shù)客戶所接收的探針系統(tǒng)，它是在SKP基礎(chǔ)之上包括了彩色相機(jī)/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數(shù)字示波鏡等配置，其規(guī)格如下：

□2毫米，50微米探針；

□功函數(shù)分辨率 1-3 meV(2毫米針尖)，5-10 meV(50微米針尖)；

□針尖到樣品表面高度可以達(dá)到400納米以內(nèi)；

□表面勢(shì)和樣品形貌3維地圖；

□探針掃描或樣品掃描選配；

□彩色相機(jī)、調(diào)焦鏡頭、TFT顯示器和專業(yè)的光學(xué)固定裝置；

□參考樣品(帶相應(yīng)的掃描探針系統(tǒng)的形貌)；

□備用的針尖放大器；

儀器的特色

□一臺(tái)商用的*意義上的開爾文探針系統(tǒng)；

□高分辨率的功函數(shù)和表面勢(shì)，好的穩(wěn)定性和數(shù)據(jù)重現(xiàn)性；

□非零技術(shù)(Off-null,ON) ——ON信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)在高信號(hào)水平下工作，與基于零信號(hào)原(null-based,LIA)的系統(tǒng)相比，不會(huì)收到噪聲的影響擁有高靈敏度；

□高度調(diào)節(jié)技術(shù) ——我們的儀器在測(cè)量和掃描時(shí)可以控制針尖的高度。因?yàn)楣瘮?shù)受樣品形貌的影響，針尖與樣品表面距離的調(diào)節(jié)意味著數(shù)據(jù)的高重現(xiàn)性且不會(huì)漂移；

□該領(lǐng)域內(nèi)，擁有好的信噪比；

□快速響應(yīng)時(shí)間 ——測(cè)量速度在0.1-10秒間，遠(yuǎn)快于其他公司產(chǎn)品；

□功能強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)器 ——選用Voice-coil(VC)驅(qū)動(dòng)器，與通常的壓電驅(qū)動(dòng)器相比，VC驅(qū)動(dòng)器頻率要穩(wěn)定得多、控制的針尖振幅大得多、支持平行多探針操作、支持不同直徑探針操作；

□所有開爾文探針參數(shù)的全數(shù)字控制；

ON	非零探測(cè) Off Null detection
HR	高度調(diào)節(jié)模式 Height Regulation mode
SM	實(shí)際開爾文探針信號(hào)監(jiān)控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal
UC	用戶通道，同時(shí)測(cè)量外部參數(shù) User Channels, simultaneous measurement of external parameters
DC	電流探測(cè)系統(tǒng)去除漂移效應(yīng) Current Detection system rejects stray capacity effects
PP	平行板震動(dòng)模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode
SA	信號(hào)平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection)
WA	功函數(shù)平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting
DC	所有探針及探測(cè)參數(shù)的數(shù)字控制Digital Control of all Probe and Detection Parameters
QT	針尖快速改變 Quick-change Tip, variable spatial resolution
DE	數(shù)據(jù)輸出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software
OC	輸出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit
FC	法拉第籠(電磁干擾防護(hù)罩) Faraday Cage (EMI Shield)
RS	金-鋁參考樣品 Gold-Aluminium Reference Sample
額外選配項(xiàng)
SPV	表面光伏電壓軟硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package
RH	相對(duì)濕度腔 Relative Humidity Chamber
AC	控制氣體進(jìn)口的環(huán)境單元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet
EDS	外部數(shù)據(jù)示波鏡 External Digital Oscilloscope
OPT	彩色相機(jī) Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts
ST	針尖置換 Replacement Tips
GCT	鍍金的針尖替換 Gold Coated Replacement Tips
XYZ	25.4毫米手動(dòng)3維控制臺(tái) 3-axis 25.4 mm Manual Stage

應(yīng)用領(lǐng)域

吸附，電池系統(tǒng)，生物學(xué)和生物技術(shù)，催化作用，電荷分析，涂層，腐蝕，沉積，偶極層形成，顯示技術(shù)，教育，光/熱散發(fā)，費(fèi)米級(jí)掃描，燃料電池，離子化，MEMs，金屬，微電子，納米技術(shù)，Oleds，相轉(zhuǎn)變，感光染色，光伏譜學(xué)，高分子半導(dǎo)體，焦熱電，半導(dǎo)體，傳感器，皮膚，太陽能電池，表面污染，表面化學(xué)，表面光伏，表面勢(shì)，表面物理，薄膜，真空研究，功函數(shù)工程學(xué)；