三維光學(xué)輪廓儀顛覆傳統(tǒng)，將共聚焦、干涉和多焦面添加3種測(cè)量技術(shù)融合于一體，測(cè)量頭內(nèi)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件。3D光學(xué)輪廓儀S neox 為客戶(hù)展現(xiàn)全新的3D立體形貌。

S neox采用Sensofar設(shè)計(jì)的Microdisplay共聚焦掃描技術(shù)。Microdisplay使用FLCOS原理，可實(shí)現(xiàn)無(wú)需機(jī)械運(yùn)動(dòng)的快速共聚焦掃描。它具有高速、穩(wěn)定和無(wú)限使用時(shí)間的特點(diǎn)。現(xiàn)有的其他品牌共聚焦顯微鏡都采用鏡片震動(dòng)掃描的方式，因?yàn)橛袡C(jī)械震動(dòng)會(huì)造成測(cè)量時(shí)抖動(dòng)，使用時(shí)間也有限。

三維光學(xué)輪廓儀的特點(diǎn)：

1. 多波長(zhǎng)的LED光源

   S neox有4個(gè)獨(dú)立的LED光源紅色、綠色、藍(lán)色和白色，可以滿(mǎn)足各種應(yīng)用的需要。

2. 驚艷的圖片質(zhì)量

   S neox采用1360×1024的高分辨率CCD，顯示分辨率達(dá)2560×1440像素。圖像銳利、生動(dòng)、無(wú)延遲。

3. 順序照明的彩色圖像

   在掃描時(shí)紅、綠、藍(lán)三色LED交替照明，并將三張彩色的圖片還原成一幅高分辨率的彩色圖像。相比其他品牌采用像素插值算法，S neox獲得的圖片色彩保真度和還原性要更勝*。

4. 栩栩如生的3D形貌呈現(xiàn)清晰的納米世界

  彩色共聚焦觀(guān)察方式使用戶(hù)能在視場(chǎng)內(nèi)觀(guān)察到納米級(jí)的細(xì)節(jié)。

5. 難以置信的3D掃描速度

   一次完整的3D掃描時(shí)間還不到10秒。用掃描速度掃描低反射率的樣品時(shí)，3D掃描時(shí)間將少于3秒。

6. 高質(zhì)量的物鏡，好的成像質(zhì)量

  S neox的水平分辨率和縱向分辨率要比激光共聚焦顯微鏡更優(yōu)，達(dá)到了光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)的極限。

SensoSCAN測(cè)量及分析軟件：

1. 省時(shí)省力

   SensoSCAN是一款簡(jiǎn)潔友好的操作軟件。在軟件界面內(nèi)，用戶(hù)可以直觀(guān)明確地了解所用的測(cè)量方式，同時(shí)還能顯示和分析數(shù)據(jù)。

2. 完善系統(tǒng)的*工具

  導(dǎo)航預(yù)覽功能可以自動(dòng)地幫助用戶(hù)在準(zhǔn)備測(cè)量前大范圍觀(guān)察樣品，找到測(cè)量點(diǎn)。當(dāng)轉(zhuǎn)換倍數(shù)時(shí)，預(yù)覽圖上也會(huì)實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前的觀(guān)察點(diǎn)位置。

3. 智能編程，全自動(dòng)測(cè)量

  全自動(dòng)測(cè)量是一項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)功能，通過(guò)它用戶(hù)能輕易地實(shí)現(xiàn)可定制的質(zhì)量管控。對(duì)在線(xiàn)測(cè)量來(lái)說(shuō)，用戶(hù)可以方便地實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品ID輸入、自動(dòng)走位測(cè)量、自動(dòng)數(shù)據(jù)輸出和‘pass和fail’判斷。

4. 快速完成測(cè)量計(jì)算

  *的算法使S neox能在放置樣品后不到一分鐘就給出結(jié)果。所有的數(shù)據(jù)都是我們專(zhuān)注于質(zhì)量和高性能的成果。

5. 強(qiáng)大的專(zhuān)業(yè)分析軟件

   增配SensoPRO或SensoMAP軟件就能輕易實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量和分析。

應(yīng)用：

S neox是一款多用途的設(shè)備，可以滿(mǎn)足您的各種應(yīng)用要求，在半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥和生物技術(shù)產(chǎn)業(yè)里起到關(guān)鍵作用。