產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
總評(píng)
Olympus MX61L是對(duì)應(yīng)300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動(dòng)型號(hào)(反射透射兼用),可以應(yīng)對(duì)明視場(chǎng)觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)連動(dòng)的亮度光圈等,實(shí)現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。配備14×12英寸載物臺(tái),能應(yīng)對(duì)大型樣本。
UIS 2物鏡生成鮮明的觀察影像
UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容,可按照用途選用。另外,波像差控制帶來的高品質(zhì),忠實(shí)于樣本的中性色彩顯示等,UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的性能。
主要操作集中配置在前面板上
在對(duì)比度的決定上起重要作用的亮度光圈(AS)的開閉調(diào)節(jié),與物鏡的切換和觀察模式連動(dòng),用一個(gè)按鈕就可以操作。此外,用一個(gè)手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上,從而提高了檢查速度。物鏡和亮度光圈(AS)的按鈕分別斜向配置,手不離開對(duì)焦手柄,只要輕動(dòng)大拇指就可以操作。這個(gè)按鈕的傾斜式設(shè)計(jì)提高了手指尖的感知度,能夠防止錯(cuò)誤操作。
觀察姿勢(shì)迅速到位的傾斜鏡筒
為了適應(yīng)視點(diǎn)而調(diào)整座椅的高度,或是以不合理的姿勢(shì)進(jìn)行檢查的話會(huì)浪費(fèi)時(shí)間,降低工作速度。但是,配備傾斜角度為0°~42°(可變高度為150 mm,SEMI S8對(duì)應(yīng))的傾斜鏡筒,可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢(shì),甚至可以站立檢查。此外,這一款鏡筒拉長(zhǎng)了從觀察中心軸到觀察者視點(diǎn)的距離,可以在較大的平臺(tái)上輕松操作。
傾斜鏡筒示意圖
安全快速的搬運(yùn)晶圓
MX61L能與自動(dòng)晶圓搬送機(jī)組合,組合后的尺寸也被設(shè)計(jì)得很小。能夠無接觸、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務(wù)。此外,晶圓盒還可以從前面輕松設(shè)置。如果使用選件的遙控器,那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。
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自動(dòng)晶圓搬送機(jī)AL110(200 mm規(guī)格)組合
快速切換物鏡,提高檢查速度
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換,可以操作按鈕瞬時(shí)間完成,提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外,UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī),在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場(chǎng)中心附近偏離。
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖
變換物鏡,亮度光圈(AS)也隨之調(diào)節(jié)
每次變換物鏡時(shí)都需要調(diào)節(jié)亮度光圈(AS)的話,會(huì)影響檢查速度。MX61L對(duì)每個(gè)物鏡都可以設(shè)置觀察方法和AS(14級(jí)),只要切換物鏡就能以zui合適的對(duì)比度進(jìn)行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時(shí)不再需要花時(shí)間調(diào)節(jié)AS,提高速度的同時(shí)減輕了操作員的疲勞。
AS自動(dòng)調(diào)節(jié)示意圖
高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置
對(duì)應(yīng)300 mm晶圓/17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺(tái)有較大的透射照明范圍(Y方向284 mm)。另外,內(nèi)置離合器的載物臺(tái)夾子,可切換粗調(diào)和細(xì)調(diào)。在顯微鏡觀察的同時(shí)能自由地移動(dòng)載物臺(tái),快速完成檢查。
內(nèi)置離合器的載物臺(tái)夾子
使用數(shù)碼照相機(jī)記錄和保存數(shù)碼影像
三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機(jī)??梢员4婧陀涗洈?shù)碼影像,幫助創(chuàng)建觀察報(bào)告。可依據(jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機(jī)。
半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 MX61L 規(guī)格
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正) | ||
機(jī)身 | 觀察方法 | 明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光 | |
反射/透射 | 反射/透射 | ||
照明裝置 | 機(jī)身一體型(明視場(chǎng),暗視場(chǎng)+1選件) | ||
照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
透射照明 | 纖維光導(dǎo) | ||
對(duì)焦單元 | 電動(dòng)/手動(dòng) | 手動(dòng) | |
行程 | 32 mm | ||
分辨率/微調(diào)靈敏度 | 微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm | ||
zui大樣本高度 | 30 mm | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 電動(dòng)型 | 明視場(chǎng)微分干涉6孔 明暗視場(chǎng)微分干涉5孔 明暗視場(chǎng)微分干涉6孔 明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5孔 | |
手動(dòng)式 | - | ||
載物臺(tái) | 行程 | 14×12 英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm(透射照明范圍356×284 mm) | |
觀察筒 | 廣角視場(chǎng)(視場(chǎng)數(shù)22) | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 |
正像 | 三目觀察筒 | ||
超寬視場(chǎng)(視場(chǎng)數(shù)26.5) | 倒置 | 三目觀察筒 | |
正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||
附件單元 | DUV單元/IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載 | ||
外形尺寸 | 710(W)×843(D)×507(H)mm(標(biāo)準(zhǔn)組合) | ||
重量 | 51 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合) |