LEXT4000研究級激光共焦顯微鏡總評:
    LEXT 4000備有常規(guī)顯微鏡的功能，并有BF，DF，DIC等多種觀察方法。它以405nm短波長半導(dǎo)體激光為光源,通過顯微鏡內(nèi)高精度掃描裝置對樣品表面的二維掃描，獲得水平分辨率高達(dá)0.12μm的表面顯微圖像,通過顯微鏡高精度步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)和5nm光柵控制的聚焦裝置，運(yùn)用共聚焦技術(shù)（Confocal），逐層獲取樣品各個(gè)二維圖像和焦面的縱向空間坐標(biāo)。經(jīng)計(jì)算機(jī)處理,將各個(gè)焦平面的顯微圖象疊加,獲得樣品表面的三維真實(shí)形態(tài)（近似SEM掃描電鏡的Morphologic圖像,將采樣數(shù)據(jù)運(yùn)算后,可獲得亞微米級的線寬,面積,體積,臺階,線與面粗糙度,透明膜厚，幾何參數(shù)等測量數(shù)據(jù)。可作為高精度測量設(shè)備，符合計(jì)量追溯體系（ISO）。附加金相插件，可做金相分析。                      

LEXT4000研究級激光共焦顯微鏡精益求精的測量性能

1> 輕松檢測尖銳角

        采用了有著高N.A. 的物鏡，和能zui大限度發(fā)揮405 nm 激光性能的光學(xué)系統(tǒng)，LEXT OLS4000可以精確的測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。

2> 克服反射率的差異

        LEXT OLS4000 采用了新開發(fā)的雙共焦系統(tǒng)。由于配置了2 個(gè)共焦光學(xué)系統(tǒng)，那些一直以來使用激光顯微鏡難以測量的、含有不同反射率材料的樣品，也能在LEXT OLS4000上獲得鮮明的影像。 

3> 穩(wěn)定的測量環(huán)境

        為了排除來自外部的影響，穩(wěn)定測量，LEXT OLS4000 機(jī)座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡皮組成的“混合減震機(jī)構(gòu)”。所以，可以把LEXT OLS4000 放在普通的桌子進(jìn)行測量作業(yè)，不需要的防震平臺。

4> 更加真實(shí)的再現(xiàn)微小凸凹

        微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小凹凸的觀察方法。LEXT OLS4000 通過安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡，將照明光橫向分為兩束光線來照射樣品。獲取由樣品直接反射回來的兩束光線的差，生成明暗對比，從而實(shí)現(xiàn)對微小凹凸的立體觀察。LEXT OLS4000 采用了微分干涉觀察，即使是低倍率的動(dòng)態(tài)觀察，也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。

4> 對應(yīng)大范圍觀察

        在高倍率影像觀察中，視場范圍會變窄。LEXT OLS4000 搭載了縫合功能，zui多可拼接500 幅影像，從而能得到高分辨率和大視場范圍的影像數(shù)據(jù)。不僅如此，LEXT OLS4000 還能對該大視場影像進(jìn)行3D 顯示和3D 計(jì)測。

的粗糙度分析能力

1> 將激光納入表面粗糙度測量儀的標(biāo)準(zhǔn)中

        作為表面粗糙度測量儀的新標(biāo)準(zhǔn)，奧林巴斯開發(fā)了LEXT OLS4000。對LEXT OLS4000 進(jìn)行了與接觸式表面粗糙度測量儀同樣的校正，并在LEXT OLS4000上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣，對于使用接觸式表面粗糙度測量儀的用戶來說，能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外，還搭載了粗糙度模式，可以用自動(dòng)拼接功能測量樣品表面直線距離zui長為100 mm 的粗糙度。

OLS4000與接觸式表面粗糙度測量儀的測量截面曲線比較（截面全長1.6 mm）

參數(shù)一覽

       LEXT OLS4000 輪廓曲線參數(shù)一覽

       LEXT OLS4000 表面粗糙度測量參數(shù)一覽（符合ISO25178 草案）

2> 微細(xì)粗糙度 

       接觸式表面粗糙度測量儀

       激光顯微鏡

3> 非接觸

       柔軟的樣品

       帶有粘性的樣品

4> 微細(xì)處測量

        使用接觸式表面粗糙度測量儀，其觸針無法進(jìn)入微小領(lǐng)域，所以不能對微小領(lǐng)域進(jìn)行測量。而激光顯微鏡可以正確定位，能輕松測量出特定微小領(lǐng)域的粗糙度。

LEXT4000規(guī)格