產(chǎn)品名稱：丹麥SENS4真空傳感器VPM-5

產(chǎn)品型號(hào)：VPM-5

產(chǎn)品介紹

VPM-5傳感器提供良好性能，并通過(guò)將可用的電導(dǎo)率真空測(cè)量?jī)x的可用測(cè)量范圍擴(kuò)展到1-3年來(lái)建立了新標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)，再加上新型的準(zhǔn)確數(shù)字信號(hào)處理架構(gòu)和創(chuàng)新測(cè)量算法。

丹麥SENS4真空傳感器VPM-5 性能特點(diǎn)

l 超寬的測(cè)量范圍為9年

l 通過(guò)S4-Connect USB程序員簡(jiǎn)化配置

l 0-10 VDC可編程電壓輸出

l 數(shù)字RS-232或RS485接口

l 穩(wěn)定Zero漂移補(bǔ)償

l 可選的固態(tài)設(shè)定點(diǎn)繼電器用于過(guò)程控制

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地：丹麥

磁滯1×10-3至10 MBAR（ISO19685：2017）：1％

滯后10至1333 MBAR（ISO19685：2017）：0.1％

模擬輸出分辨率：16位（150 µV）

模擬輸出更新率：124 Hz

響應(yīng)時(shí)間（ISO 19685：2017）：<20 ms

溫度補(bǔ)償：+10至+50°C

固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍：5×10-6至1333 MBAR（3.75×10-6至1000 Torr）

固態(tài)繼電器接觸評(píng)級(jí)：50 V，100 MARMS / MADC

環(huán)境條件:

操作環(huán)境溫度：-20至+50°C

介質(zhì)溫度：-20至+50°C

存儲(chǔ)環(huán)境溫度：-40至+120°C

烘烤溫度（非操作）：+120°C

安裝位置：任意

濕度，IEC 68-2-38：98％，無(wú)調(diào)

電源:

電源電壓：12-30 VDC

功耗：240 MW（max）

反極性保護(hù)：是

電壓保護(hù)：是

內(nèi)部保險(xiǎn)絲：100 mA（可回收）

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

質(zhì)譜儀

掃描電子顯微鏡

爐熱處理

玻璃，光學(xué)，工具等的PVD涂層

制冷服務(wù)和制造

半導(dǎo)體處理