全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針 

——從此形貌探測(cè)無(wú)需激光

    SCL-Sensor.Tech公司成立于2004年，公司的主要業(yè)務(wù)是制造和銷售硅基壓電阻式自感應(yīng)AFM探針。這種全壓電式懸臂，在AFM、納米、力測(cè)量等傳感應(yīng)用域都有全新的應(yīng)用。我們的多學(xué)科團(tuán)隊(duì)由物理、商業(yè)和金融、半導(dǎo)體和微電子學(xué)、電子工程和生物科學(xué)等域的家組成。除了我們自己的團(tuán)隊(duì)之外，我們還與著名高校：University of Tampere (UTA)，école  Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) 許多的研究團(tuán)隊(duì)合作，密切接觸前沿研究和開(kāi)發(fā)。  

   自感應(yīng)懸臂探針安裝了個(gè)全壓電電阻式的惠斯通電橋，兩個(gè)可變電阻在懸臂上，兩個(gè)在晶片上可以直接測(cè)量懸臂的信號(hào)，從而避免了光學(xué)技術(shù)對(duì)空間要求。這種懸臂式芯片被連接在個(gè)小的PCB上，帶有個(gè)小的連接器，用于快速和高度可重復(fù)的懸臂交換。傳感器信號(hào)是通過(guò)個(gè)小型的前置放大器PCB來(lái)讀出和放大的。這使得與各種儀器，如SEM，TEM和許多其他測(cè)量系統(tǒng)的簡(jiǎn)單無(wú)縫集成。這種自感的懸臂可以滿足各種共振頻率和彈性系數(shù)的要求。 

   SCL提供了PRS(Piezo-Resistive  Sensing)不可加熱的懸臂AFM探針和PRSA(Piezo-Resistive Sensing &  Active)可加熱的懸臂AFM探針。我們建議用塑料鑷子更換裸懸臂AFM探針，用鋼鑷子來(lái)更換固定在PCB板上的懸臂AFM探針。

常規(guī)自感應(yīng)懸臂梁探針（針尖材質(zhì)Si） Self-Sensing Cantilevers  with Silicon Tip 

型號(hào)列表： 

PRSA-L300-F50/60/80-Si-PCB/CHP    

    我們可以提供兩中定頻率范圍內(nèi)使用的探針（中頻為50 kHz或80  kHz），頻率取決于懸臂的厚度。當(dāng)選擇沒(méi)有PCB板的裸探針時(shí)（PRSA-L300-CHP）時(shí)，使用的頻率范圍是未知的，因?yàn)檫@些參數(shù)不能在沒(méi)有電觸點(diǎn)的情況下測(cè)量。 

	共同點(diǎn)Common
	針尖銳度Silicon tip radius  (rtip)	< 15  nm
	長(zhǎng)寬Cantilever length, width  (l/w)	l = 305  μm, w = 110 μm
	靈敏度Sensitivity (s)	1-2  μV/nm
	應(yīng)用Applications	AFM,  納米探測(cè), 結(jié)合 SEM/TEM的力學(xué)探測(cè).
	PRSA-L300-F50-Si-PCB
	共振頻率Resonant frequency  (fR)	fR = 30~65 kHz
	剛度Stiffness (k)	k = 1~15  N/m
	PRSA-L300-F80-Si-PCB
	共振頻率Resonant frequency  (fR)	65...95  kHz
	剛度Stiffness (k)	15...56  N/m

PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP 

自感應(yīng)懸臂梁（不含針）Self-Sensing Cantilever without Tip  (Tipless)

型號(hào)列表： 

PRSA-L300-F50/60/80-TL-PCB/CHP     

    我們可以提供兩中定頻率范圍內(nèi)使用的探針（中頻為50 kHz或80 kHz），頻率取決于懸臂的厚度。當(dāng)選擇沒(méi)有PCB板的裸探針時(shí)（PRSA-L300-CHP）時(shí)，使用的頻率范圍是未知的，因?yàn)檫@些參數(shù)無(wú)法在沒(méi)有電觸點(diǎn)的情況下測(cè)量。 

	共同點(diǎn)Common
	長(zhǎng)寬Cantilever length, width  (l/w)	l = 300 μm, w = 110
	靈敏度Sensitivity (s)	1-2  μV/nm
	應(yīng)用Applications	扭矩磁力儀，力感應(yīng)，氣體性，殊針尖的安裝
	PRSA-L300-F50-TL-PCB
	共振頻率Resonant frequency  (fR)	fR = 30~65 kHz
	剛度Stiffness (k)	k = 1~15  N/m
	PRSA-L300-F80-TL-PCB
	共振頻率Resonant frequency  (fR)	65...95  kHz
	剛度Stiffness (k)	15...56  N/m

PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP 

PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP

自感應(yīng)基礎(chǔ)套件（DYI*） Self-Sensing  Starter-Kit

    自感懸臂探針的每個(gè)應(yīng)用中沒(méi)有激光擾度探測(cè)，無(wú)法直接用于普通AFM設(shè)備里，需要我們提供的自感應(yīng)基礎(chǔ)套件。該基礎(chǔ)套件為您提供了所有基本但必要的配置，可以立即開(kāi)始使用自感應(yīng)懸臂（探針）。自感應(yīng)基礎(chǔ)套件包含以下內(nèi)容：  

    ?  低噪聲懸臂信號(hào)前置放大器（下圖-2) 

    ?  連接前置放大器到懸臂和后加工設(shè)備（鎖定放大器，AFM控制器等）的電纜。(1 +  3)

    ?  10個(gè)自我感覺(jué)的懸臂（4)