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上海廣樹機(jī)電有限公司

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廣樹GS模壓玻璃鏡片碳鍍膜機(jī)

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【詳細(xì)說明】

廣樹GS模壓玻璃鏡片碳鍍膜機(jī)特點(diǎn):


采用隔板設(shè)計,批量處理模壓光學(xué)鏡片的碳鍍膜工藝,每爐可放數(shù)千個鏡片;


智能化PLC程序升溫程序,真空程序,CVD進(jìn)氣程序,操作簡單方便


優(yōu)質(zhì)干式真空泵,杜絕油液污染,可選擇國產(chǎn)干式泵和進(jìn)口干式泵;


智能化CVD進(jìn)氣控制系統(tǒng),適應(yīng)于氮?dú)?、乙?甲烷、氬氣、空氣的通入和混合


*的密封系統(tǒng),泄漏率低,長期使用穩(wěn)定性高;


廣樹GS模壓玻璃鏡片碳鍍膜機(jī)詳細(xì)資料


主要用途


適用于模壓非球面光學(xué)玻璃鏡片碳鍍膜工藝


適應(yīng)于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓表面薄膜生長;


可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝;


產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)


產(chǎn)品型號:GS-30-700廣樹      


最高溫度 700℃;


使用氣氛: 氮?dú)?、氬氣、空氣、二氧化?/span>、乙炔、甲烷、合氣體


長期使用:400-700℃;


動 度: ±1℃;


顯示精度: 0.1℃;


勻 度: 容積30L


進(jìn)氣流量:三路MFC質(zhì)量流量計控制,一路浮子流量計控制;


升降系統(tǒng) 兩套伺服升降系統(tǒng)平臺;


控制系統(tǒng):智能程序化PLC控制系統(tǒng);


真空泵真空度 極限真空1Pa;


腔內(nèi)真空度≤10Pa;


降溫要求:外置冷卻風(fēng)機(jī),降溫階段強(qiáng)制降溫;


整機(jī)功率: 18KW;


: 380V, 50Hz;


水冷裝置:優(yōu)質(zhì)水冷機(jī),PLC聯(lián)機(jī)控制


保護(hù)裝置: 過載、過流、過壓保護(hù),接地,熱電偶異常報警,第二回路超溫報警保護(hù)裝置;


力過載保護(hù);


技術(shù)服務(wù): 提供設(shè)備使用過程中的技術(shù)咨詢和支持,接到客戶故障通知3個工作時內(nèi)立即響應(yīng)



    
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