費(fèi)斯托過濾減壓閥工作原理順時(shí)針旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺絲，調(diào)節(jié)彈簧受力并向下壓膜片，于此相連的閥芯和底盤向下移動(dòng)，這時(shí)閥芯底盤上方形成通路，氣源壓力通過出口輸出。當(dāng)出口壓力上升到設(shè)定壓力大小時(shí)，通過出口壓力感應(yīng)孔傳達(dá)到膜片底部，和彈簧壓力保持平衡，并維持設(shè)定壓力。當(dāng)出口壓力大于設(shè)定壓力，通過出口壓力感應(yīng)孔傳達(dá)到膜片底部，膜片和底盤間的孔開啟，出口壓力通過這個(gè)孔傳達(dá)到彈簧室 內(nèi)并向大氣排出，維持設(shè)定壓力。

費(fèi)斯托過濾減壓閥工作原理順時(shí)針旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺絲，調(diào)節(jié)彈簧受力并向下壓膜片，于此相連的閥芯和底盤向下移動(dòng)，這時(shí)閥芯底盤上方形成通路，氣源壓力通過出口輸出。當(dāng)出口壓力上升到設(shè)定壓力大小時(shí)，通過出口壓力感應(yīng)孔傳達(dá)到膜片底部，和彈簧壓力保持平衡，并維持設(shè)定壓力。當(dāng)出口壓力大于設(shè)定壓力，通過出口壓力感應(yīng)孔傳達(dá)到膜片底部，膜片和底盤間的孔開啟，出口壓力通過這個(gè)孔傳達(dá)到彈簧室 內(nèi)并向大氣排出，維持設(shè)定壓力。
35022 MS12-LFR        
537150 MS12-LFR-G-D7-CUV-LD-AS 內(nèi)置的 11000 ... 14000 l/min 0.5 ... 12 bar 5 µm
537149 MS12-LFR-G-D7-EUV-LD-AS 內(nèi)置的 12000 ... 17000 l/min 0.5 ... 12 bar 40 µm

費(fèi)斯托過濾減壓閥可根據(jù)輸出壓力精度的要求選配高精度的精密減壓閥；在使用過程中，壓縮空氣經(jīng)過兩級(jí)三段式過濾器去除壓縮空氣中的油、水、塵等雜質(zhì)后，大大提高了減壓閥膜片的使用壽命和調(diào)節(jié)壓力的精密度；由于過濾元件使用壽命較長(zhǎng)，在維護(hù)上可單獨(dú)對(duì)過濾元件、減壓元件進(jìn)行修復(fù)，無需整體更換，大大節(jié)約成本。562531 MS9-LFR   13000 ... 23000 l/min 0.5 ... 16 bar 5 ... 40 µm
564114 MS9-LFR-G-D6-CUM-AG-BAR-AS     0.5 ... 7 bar 5 µm
564116 MS9-LFR-G-D6-CUM-DI-AG-BAR-AS     0.5 ... 7 bar 5 µm
564115 MS9-LFR-G-D6-CUV-AG-BAR-AS     0.5 ... 7 bar 5 µm
564117 MS9-LFR-G-D6-CUV-DI-AG-BAR-AS     0.5 ... 7 bar 5 µm
564110 MS9-LFR-G-D6-EUM-AG-BAR-AS     0.5 ... 7 bar 40 µm
564112 MS9-LFR-G-D6-EUM-DI-AG-BAR-AS     0.5 ... 7 bar 40 µm
FESTO過濾減壓閥采用滾動(dòng)式膜片，當(dāng)輸入端壓力波動(dòng)時(shí)，減壓閥膜片自動(dòng)作出調(diào)整，使壓力平穩(wěn)的輸出，保證壓力穩(wěn)定。564111 MS9-LFR-G-D6-EUV-AG-BAR-AS     0.5 ... 7 bar 40 µm
564113 MS9-LFR-G-D6-EUV-DI-AG-BAR-AS     0.5 ... 7 bar 40 µm
564120 MS9-LFR-G-D7-CUM-AG-BAR-AS     0.5 ... 12 bar 5 µm
564121 MS9-LFR-G-D7-CUV-AG-BAR-AS     0.5 ... 12 bar 5 µm
564118 MS9-LFR-G-D7-EUM-AG-BAR-AS     0.5 ... 12 bar 40 µm
564119 MS9-LFR-G-D7-EUV-AG-BAR-AS     0.5 ... 12 bar 40 µm
564128 MS9-LFR-NG-D6-CUM-DI-AG-PSI-AS     0.5 ... 7 bar 5 µm
564129 MS9-LFR-NG-D6-CUV-DI-AG-PSI-AS     0.5 ... 7 bar 5 µm
564124 MS9-LFR-NG-D6-EUM-DI-AG-PSI-AS     0.5 ... 7 bar 40 µm
564125 MS9-LFR-NG-D6-EUV-DI-AG-PSI-AS     0.5 ... 7 bar 40 µm

費(fèi)斯托過濾減壓閥特點(diǎn)：
出口壓力附加平衡提升閥提供了快速響應(yīng)
具有精確的壓力調(diào)節(jié)，適用于*壓力控制。
整體控制活塞，有唇形密封，壽命長(zhǎng)。
全流量壓力表氣口。
帶防護(hù)罩的按壓鎖定式調(diào)節(jié)旋鈕。
結(jié)構(gòu)緊湊，維護(hù)方便