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M2測量系統(tǒng)

為什么關(guān)心 M²

它是激光器或激光系統(tǒng)的交付質(zhì)量保證或驗收標準。

? 您需要了解為什么實際“聚焦"的激光光斑直徑比計算預測的要大。

? 您需要測量 M²，和/或有人給您一份 ISO 11146 標準。

? 因為 M² 是通過良好光學系統(tǒng)傳播的激光束的不變屬性。因此，M2 可用于描述該光學系統(tǒng)中任意點的光束。（*光學系統(tǒng)既不會扭曲也不會縮短光束。）

M²或光束質(zhì)量因子是一個無量綱參數(shù)，用于表征實際激光束的缺陷程度。 M² 的值越低，光束可以越緊密地聚焦到一個小點上。良好的 TEM00 光束的 M² = 1。

沒有任何激光束是“wan美的"。激光腔、激光介質(zhì)和/或輸出/輔助光學器件的局限性意味著大多數(shù)光束不是教科書中描述的衍射限制、高斯分布、純TEM00 模式。復雜光束包含多種增加M2的因素。即使是“理想的"的實驗室氦氖激光器的M²大約1.05 到1.2，而不是“wan美"TEM00 光束的1.0。

簡單的 M2 可以定義為：實際光束的發(fā)散度與具有相同腰部直徑的理論衍射極限光束的發(fā)散度之比。

M2 = (Θ/θ) 其中 Θ是實際光束的實測遠場全角發(fā)散角，θ是“wan美"TEM00 高斯光束的理論遠場發(fā)散角，其束腰直徑與被測光束。

DataRay 提供成像相機和狹縫掃描系統(tǒng)來測量M²、發(fā)散度、光束輪廓、光束位置、瑞利范圍等。

? BeamR'2 和 WinCamD 輪廓相機結(jié)合線性平臺移動，通過束腰位置以執(zhí)行符合 ISO 11146 的測量。

? BeamMap2 通過多平面掃描系統(tǒng)提供實時 M²。

移動平臺上符合 ISO 11146 標準的單平面測量系統(tǒng)

ISO 11146 標準要求測量光束腰部的多個平面 (≥5) 和遠場中的多個平面 (≥5) 的二次矩光束直徑。在大多數(shù)情況下，這需要單個平面光束分析儀通過一個Z平臺沿傳播軸移動。

DataRay 基于模塊化的系統(tǒng)為用戶提供了靈活性很強的M² 測量。電子表格支持選擇最佳 M²測量配置：基于相機或基于狹縫掃描的系統(tǒng)、鏡頭選擇50 或 200 毫米長平移臺。

WinCamD™ 相機提供最靈活的成像系統(tǒng)，可以在脈沖和連續(xù)波束上測量非常廣泛的 M²。波長從 190 nm 到 1350 nm，傳感器尺寸為 11.3 x 11.3 mm，像素尺寸小至 3.2 µm。

Beam’R2™ 是一種高分辨率 (0.1 µm) 單平面掃描系統(tǒng)，具有從 190 nm 到 2.5 µm 的多種波長選項以及用于測量 M²、發(fā)散度、瑞利范圍等的配置選項。

M2DU-50 和 -200平臺

? 分辨率 < 1 µm

? DataRay 軟件控制

? 符合 RoHS 和 CE 標準

實時 M²

BeamMap2™ 是一種高分辨率 (0.1 µm) 多 z 平面 XYZθθ 測量系統(tǒng)，可實時測量 M²、校準、發(fā)散和束腰位置和尺寸。 BeamMap2 有兩個版本，涵蓋狹縫平面分離 d 選項為 50、100、250、500 或 750 µm 的聚焦光束。 ColliMate™ 版本涵蓋接近準直的光束，平面間距為 5mm。

BeamMap2 操作原理

? 帶有多個 XY 狹縫對的磁盤 ['puck'] 圍繞平行于 z 軸的軸旋轉(zhuǎn)，這符合 ISO 11146 標準的正交線性掃描要求。

? 狹縫在聚焦區(qū)域中以 z 軸方向的多個平面中精確校準。

? 狹縫放置在與局部徑向方向的 ±45° 處。有效狹縫寬度比實際狹縫寬度大 2 倍。

M²測量系統(tǒng)

波長范圍

相機系統(tǒng)	WinCamD-LCM4	WinCamD-UCD series	Beam’R2™		BeamMap2™
190-355	√	√
355-1100	√	√
355-1350	√	√
掃描系統(tǒng)			單平面	模型	多平面實時 M2	型號1
190-800			√	BR2-Si	√	BMS2-Si-XXX
800-1800			√	BR2-IGA	√	BMS2-IGA-XXX
800-2500			√	BR2-IGA2.5	√	BMS2-IGA-2.5-XXX

1 不同的狹縫/平面配置可能有多個型號。請咨詢科藝儀器銷售工程師確認選擇范圍：

訂購信息鏡頭選擇

模型	描述
LNZ-UV-Focal Length 190-380 nm	可用焦距 - 50,75,100,150, 200,250,500 mm，直徑 25 或 50 mm，帶安裝座和墊片
LNZ-VIS-Focal Length 400-800 nm	可用焦距 - 50,75,100,150, 200,250,500 mm，直徑 25 或 50 mm，帶安裝座和墊片
LNZ-NIR- Focal Length 650-1050 nm	可用焦距 - 50,75,100,150, 200,250,500,750,1000 mm，直徑 25 或 50 mm，帶安裝座和墊片
LNZ-TEL- Focal Length 1050-1620 nm 1	可用焦距 - 50,75,100,150, 200,250,500,750,1000 mm，直徑 25 或 50 mm，帶安裝座和墊片

相機/掃描系統(tǒng)

模型		描述
相機	S-WCD-LCM4	完整的全局 CMOS 光束分析相機和配件 USB 3.0，1" 傳感器，5.5 µm 像素
	S-WCD-UCD23	完整的全局 CCD 系列光束分析相機和配件 USB 2.1、2/3" 傳感器、6.5 µm 像素
	S-WCD-UCD15	完整的全局 CCD 系列光束分析相機和配件 USB 2.1、1/1.8" 傳感器、4.4 µm 像素
	S-WCD-UCD12	完整的全局 CCD 光束分析相機和附件 USB 2.1、1/2" 傳感器、4.65 µm 像素
	S-WCD-UHR	完整的 CMOS 光束分析相機和配件 USB 2.1、1/2" 傳感器、5.2 µm 像素
	S-WCD-XHR	完整的 CMOS 光束分析相機和配件 USB 2.1、1/2" 傳感器、3.2 µm 像素
平臺	M2DU-WCD-50	M²線性平臺，2.5 µm 步長，50 mm 行程，用于相機
	M2DU-WCD-200	M² 線性平臺，2.5 µm 步長，200 mm 相機行程
狹縫掃描系統(tǒng)	S-BR2-	Beam’R2 掃描系統(tǒng) - 選擇 Si、IGA 或 IGA2300
	S-BMS2	完整的 BeamMap2 系統(tǒng) - 選擇 Si、IGA 或 Ext IGA2300 無需平臺
Stage	M2DU-BR2	用于 BR2 掃描系統(tǒng)的線性平臺

配件

IC	儀表盒，包含客戶自定義配置的泡沫單元
ND 衰減片	全系列 ND 衰減片，包括我們新的 MagND 衰減片，可快速更換OD數(shù) 0.5、1.0、2.0、3.0、4.0、5.0

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