目錄:孚光精儀(中國)有限公司>>生命科學(xué)儀器>>生物分子打印機(jī)>> FPKLOE-DILASE-3D微尺度3D激光打印機(jī)
技術(shù) | 多光子聚合 | 原理 | MPP |
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微尺度3D激光打印機(jī),3D激光直寫打印機(jī)具有3D激光打印機(jī)和3D激光直寫光刻機(jī)功能,可制作分辨率*于10微米的高分辨率3D微納結(jié)構(gòu)圖案。
微尺度3D激光打印機(jī),3D激光直寫打印機(jī)可以在光刻膠上直寫3D圖案結(jié)構(gòu),可容納100x100mm的平面襯底,直寫打印的圖案厚度高達(dá)50mm,適合大規(guī)模激光3D打印。
微尺度3D激光打印機(jī),3D激光直寫打印機(jī)可使用市場上的多數(shù)光膠和3D光刻材料,可以裝配375nm或405nm激光器。
微尺度3D激光打印機(jī),3D激光直寫打印機(jī)特色
高分辨率3D光刻,分辨率<10微米
大尺寸3D直寫打?。?00x100x50mm^3
可大深度聚焦
可選375nm或405nm紫外激光波長
光束***小可到5微米直徑
直寫步長可調(diào)
采用3D激光光刻軟件控制
可以掃碼直寫或矢量直寫
微尺度3D激光打印機(jī),3D激光直寫打印機(jī)參數(shù)
線性直寫速度:>50mm/s
位移臺分辨率:100nm
重復(fù)精度:100nm
加工晶圓面積:1~4英寸
允許襯底厚度:250微米~10毫米
激光斑點(diǎn)尺寸:5微米~50微米
圖示:3D激光直寫打印機(jī)打印結(jié)果圖片(來源于Renatech客戶系統(tǒng))
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