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Hybrid Hexapod六軸平臺(tái)采用ALIO六軸定位臺(tái)Hexapod器件,采用與傳統(tǒng)6自由度（6-DOF）定位臺(tái)不同的方法，以競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格展示了更高的性能。
Hybrid Hexapod六軸平臺(tái)結(jié)合了精密XY單片工作臺(tái)、三腳架和連續(xù)旋轉(zhuǎn)θ-Z軸，而不是6個(gè)獨(dú)立支腿（和12個(gè)連接接頭），以提供整體性能。這使得傳統(tǒng)的六足運(yùn)動(dòng)學(xué)過(guò)時(shí)，在精度、路徑性能、速度、剛度和更大的工作范圍（幾乎不受限制的XY行程）以及可編程的刀具中心點(diǎn)位置方面有了幾個(gè)數(shù)量級(jí)的改進(jìn)。
Hybrid Hexapod六軸平臺(tái)具有小于100 nm的三維6軸點(diǎn)精度®可重復(fù)性，使其成為激光加工、光學(xué)檢測(cè)、光子學(xué)、半導(dǎo)體、計(jì)量學(xué)和醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域以及所有微加工項(xiàng)目中關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)。
傳統(tǒng)的六足機(jī)器人無(wú)法達(dá)到亞微米精度，因?yàn)樗鼈冃枰_協(xié)調(diào)所有六個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)，以完成運(yùn)動(dòng)輪廓，即使這一要求僅適用于簡(jiǎn)單的單軸運(yùn)動(dòng)。此外，盡管人們普遍認(rèn)為，與串聯(lián)堆疊的多軸系統(tǒng)相比，Hexapod六軸平臺(tái)表現(xiàn)出良好的剛度，但這實(shí)際上僅限于垂直“z"軸，而在“xy"平面上則存在弱點(diǎn)。
Hybrid Hexapod六軸平臺(tái)Angulares
Angulares Hybrid Hexapod®的60度傾斜/傾斜行程是目前市場(chǎng)上任何6自由度（6-DOF）定位器所能提供的最大角度行程范圍，并提供與ALIO的所有Hybrid Hexapod系統(tǒng)相同的定位性能。它非常適合于非球面和自由曲面光學(xué)計(jì)量、硅光電子封裝和探測(cè)、激光微處理（非平面基板和錐度控制）、晶圓計(jì)量、相機(jī)模塊對(duì)準(zhǔn)和組裝、傳感器/圖像穩(wěn)定測(cè)試、光學(xué)元件和光纖對(duì)準(zhǔn)等應(yīng)用。
Hybrid Hexapod六軸平臺(tái)Angulares具有精密交叉滾柱軸承導(dǎo)軌、所有軸上的光學(xué)增量或絕對(duì)編碼器反饋、直線電機(jī)和/或伺服滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)器、無(wú)限可編程刀具中心點(diǎn)位置和坐標(biāo)偏移，以及所有軸上的零齒隙。該設(shè)計(jì)使角度最大的M能夠無(wú)限的XY行程，Z行程為62毫米，使用其他三腳架模型可以增加到208毫米，傾斜/傾斜行程為60度（+/-30度），連續(xù)360度θ-Z，XYZ雙向重復(fù)性小于+/-0.6弧秒，速度高達(dá)100毫米/秒XY和Z，小于10納米的線性和0.1弧秒的角度最小增量運(yùn)動(dòng)。