目錄:孚光精儀(中國)有限公司>>表面微納測量>>晶圓翹曲度測量儀>> FPACT-Closed-Loop閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)DM低階像差校正
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,航天,電氣 |
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波長范圍 | 400-1000nm |
閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)是針對激光束在激光加工過程中產(chǎn)生的低階像差進(jìn)行校正的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)。該閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)由雙壓電晶片變形鏡(DM)作為波前校正器,采用改進(jìn)的Shack-Hartmann技術(shù)測量波前梯度的和實現(xiàn)閉環(huán)算法的軟件組成。
閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)規(guī)格
•輸入光束孔徑-高達(dá)500 mm
•波長范圍-400…1100 nm(或根據(jù)客戶要求)
•波前采樣-20x20 lenslet子孔徑或更多
•工作頻率-高達(dá)100Hz
•最大校正像差-高達(dá)30λ@632.8 nm
•校正精度-優(yōu)于λ/10@632.8 nm
•工作電壓-100-120和200-240VAC@50/60Hz
閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)軟件包括:
•參考波前測量
•DM響應(yīng)函數(shù)的測量
•P-V,RMS的計算
•參考波前的保存與恢復(fù)
•閉環(huán)算法的“凍結(jié)"
•顯示控制電壓、電壓條、條紋、澤尼克系數(shù)、澤尼克條、波前梯度、參考狀態(tài)
閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)包裝:
•變形雙晶片鏡
•雙晶片反射鏡控制器
•哈特曼波前傳感器
•M2傳感器(可選)
•計算機(jī)(可選)
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