干法刻蝕機(jī)ES373是大規(guī)模集成電路設(shè)計的精細(xì)工藝干法刻蝕系統(tǒng)。該
干法刻蝕機(jī)專門用于大規(guī)模集成電路（LSI）失效分析，具有在多層器件上進(jìn)行高寬高比刻蝕的能力，具有*的功能和易用性。
干法刻蝕機(jī)特點(diǎn)
存儲可變蝕刻條件的存儲器功能。
食譜記憶函數(shù)步程序函數(shù)
節(jié)省蝕刻條件，易于維護(hù)
運(yùn)行歷史記錄
帕爾貼裝置對舞臺溫度的控制
工藝氣體管道VCR接頭
干式泵
干法刻蝕機(jī)ES373是大規(guī)模集成電路設(shè)計的精細(xì)工藝干法刻蝕系統(tǒng)。該
干法刻蝕機(jī)專門用于大規(guī)模集成電路（LSI）失效分析，具有在多層器件上進(jìn)行高寬高比刻蝕的能力，具有*的功能和易用性。
干法刻蝕機(jī)特點(diǎn)
存儲可變蝕刻條件的存儲器功能。
食譜記憶函數(shù)步程序函數(shù)
節(jié)省蝕刻條件，易于維護(hù)
運(yùn)行歷史記錄
帕爾貼裝置對舞臺溫度的控制
工藝氣體管道VCR接頭
干式泵
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