目錄:孚光精儀(中國)有限公司>>光學(xué)測量系列>>探針臺>> FPMIC-SPS-2600進(jìn)口半自動晶圓探針臺
這款半自動晶圓探針臺廣泛用作分析探針臺和RF探針臺,可測試100mm晶圓,性價比高,配置靈活多樣,具有加熱型晶圓夾盤chuck,體式顯微鏡,RF屏蔽箱等諸多配件可選擇,適合實驗室半導(dǎo)體器件探針臺測試和晶圓探針臺測試應(yīng)用。
半自動晶圓探針臺特色
電動XY樣品夾盤,步進(jìn)電機高精度控制
適合低于0℃的測試應(yīng)用或者屏蔽RF的應(yīng)用
樣品臺,行程范圍125mm x 125mm
加載或卸載晶圓非常方便
精密電控XY位移臺和臺板
光滑的磁鐵臺板可支撐高達(dá)10個磁性或真空定位器
高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達(dá)200mm, LED照明,放大倍數(shù)3.5X~180X
適合連接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF鏈接接頭
標(biāo)準(zhǔn)的XYZ三維位移臺顯微鏡
可提供RF探針,RF卡盤,RF隔離箱等附件
半自動晶圓探針臺規(guī)格參數(shù)
適合晶圓大?。?00mm (125mm可選)
電動XY位移臺: 行程范圍125mm x 125mm, 分辨率1.5um
臺板行程:12.7mm 或更大,
臺板調(diào)整:帶有粗調(diào)和微調(diào)功能,重復(fù)精度+/-1.5um
臺板平面度:<+/-12.7um @150mm長度
臺板剛度:<50um @4.5kg
樣品夾盤規(guī)格
真空:多區(qū)真空
平面度:+/-13um
擊穿電壓:500V
隔離度:1G歐姆
調(diào)整:360度粗調(diào), +/-6度微調(diào)
顯微鏡:高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達(dá)200mm, 放大倍數(shù)范圍3.5X~180X
電學(xué)接頭:BNC, Triax, RF, Banana插頭
安裝要求:真空度<600Torr, CDA:60psi(僅適用于啟動XY升級位移臺)
整體尺寸: W78cm xD80cm x H58cm
凈重:85kg ~95kg (根據(jù)所選不同配件)
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)