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飛秒激光劃片機是專業(yè)為太陽能電池激光劃片激光刻膜激光燒蝕加工開發(fā)的小型太陽能電池飛秒激光劃片機和飛秒激光晶圓切割機，廣泛用于晶圓邊緣隔離，晶圓背向接觸燒結(jié)（Back contact laser fireing,BCLC),晶圓激光打標(biāo)和晶圓切割。
這套飛秒激光晶圓劃片機使用了高精度的掃描振鏡，可以加工5''和6''的晶圓硅片.

太陽能電池激光劃片機配備的軟件能夠精確探測晶圓邊緣,控制XYZ三維的光束定位，并監(jiān)控激光功率等參數(shù)。
這套飛秒激光劃片機為大學(xué)或科研院所提供了一種多功能,高精度的太陽能電池晶圓的加工設(shè)備,可以廣泛用于晶圓激光打標(biāo),晶圓邊緣隔離，晶圓背向接觸燒結(jié)（Back contact laser fireing,BCLC)以及晶圓切割。

在制造晶體硅太陽能電池過程中通常使用p型晶圓，通過磷擴散形成n型層。這種n型層形成于太陽能電池表面，被稱作發(fā)射極，當(dāng)然此時也形成了p-n結(jié)。在對邊緣未隔離之前，邊緣電流會減少太陽能電池的效率。 現(xiàn)在通常使用激光晶圓劃片機超快激光進行邊緣隔離, 使用激光對距離上表面150-300微米的區(qū)域進行激光切割。太陽能電池激光劃片機,這種切割深度不得小于發(fā)射極的深度(2-10微米）。
我們在這套激光晶圓劃片機中使用高精度的掃描振鏡控制激光光束進行切割，并配備了*的機械視圖功能，可以實時探測到晶圓位置以及邊緣隔離的精度, 配備的軟件可以讓用戶在“科學(xué)研究“和"工業(yè)應(yīng)用“兩種模式下選擇使用。
飛秒激光劃片機系統(tǒng)構(gòu)成--科研用途
系統(tǒng)-工藝級用途