1. 產(chǎn)品概述：

ET4000A 是小坂研究所推出的一款多功能、全自動(dòng)的微細(xì)形狀測(cè)量機(jī)，在平板顯示器（FPD）、晶圓、硬盤等納米尺度的測(cè)量領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

2. 設(shè)備應(yīng)用：

o 半導(dǎo)體行業(yè)：用于晶圓表面的形貌、臺(tái)階高度、粗糙度等參數(shù)的精確測(cè)量，對(duì)半導(dǎo)體芯片的制造工藝控制和質(zhì)量檢測(cè)至關(guān)重要，比如測(cè)量晶圓表面的薄膜厚度、刻蝕深度等。

o 平板顯示領(lǐng)域：可檢測(cè) FPD 基板的表面平整度、段差、微觀結(jié)構(gòu)等，保障平板顯示器的顯示質(zhì)量和性能，像液晶面板、OLED 面板等的相關(guān)測(cè)量。

o 硬盤制造：能夠測(cè)量硬盤盤片的表面粗糙度、磁頭飛行高度等關(guān)鍵參數(shù)，對(duì)于提高硬盤的存儲(chǔ)密度和讀寫性能有重要意義。

o 精密加工行業(yè)：適用于各種精密機(jī)械零部件的表面形狀、尺寸精度測(cè)量，有助于提升產(chǎn)品的加工精度和質(zhì)量控制水平，例如精密模具、微型機(jī)械零件等的測(cè)量。

o 科研領(lǐng)域：為材料科學(xué)、納米技術(shù)等科研項(xiàng)目提供高精度的微觀形狀測(cè)量數(shù)據(jù)，支持相關(guān)領(lǐng)域的研究和創(chuàng)新，如納米材料的表面特性研究、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器件的形貌分析等。

ET4000A：多功能全自動(dòng)微形狀測(cè)量機(jī)

特點(diǎn)：這款測(cè)量機(jī)具備多功能性，能夠滿足各種復(fù)雜的測(cè)量需求。

應(yīng)用：非常適合需要高精度、多功能測(cè)量的應(yīng)用場(chǎng)景，如科研、精密制造等。

ET4000L：可處理大尺寸的全自動(dòng)微形狀測(cè)量機(jī)

特點(diǎn)：這款測(cè)量機(jī)特別設(shè)計(jì)用于處理大尺寸樣品，具有的穩(wěn)定性和精度。

應(yīng)用：非常適合需要測(cè)量大尺寸基板、晶圓等的應(yīng)用場(chǎng)景，如平板顯示器制造、半導(dǎo)體行業(yè)等。

ET4000M：合理、高性能、通用的微形狀測(cè)量機(jī)

特點(diǎn)：這款測(cè)量機(jī)具有合理的價(jià)格、高性能和通用性，能夠滿足大多數(shù)測(cè)量需求。

應(yīng)用：非常適合需要高精度測(cè)量但預(yù)算有限的應(yīng)用場(chǎng)景，如質(zhì)量控制、產(chǎn)品研發(fā)等。

ET4000系列全自動(dòng)微形狀測(cè)量機(jī)提供了多種型號(hào)選擇，以滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景和預(yù)算需求。無論您需要測(cè)量小尺寸還是大尺寸樣品，高精度還是多功能性，ET4000系列都能提供合適的解決方案。

3. 設(shè)備特點(diǎn)：

o 高精度測(cè)量：具備出色的臺(tái)階再現(xiàn)性與線性度，保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性，例如在測(cè)量微小臺(tái)階高度時(shí)能精確到納米級(jí)別。

o 超高真直度：確保量測(cè)圖形不受干擾，可在真直度保證下進(jìn)行長(zhǎng)距離測(cè)量，有利于對(duì)大型工件或具有長(zhǎng)行程特征的樣品進(jìn)行精確測(cè)量。

o 先進(jìn)的檢出器：采用超低噪音直動(dòng)式 LVDT，超低測(cè)定力的觸針可任意調(diào)節(jié)，既能滿足不同測(cè)量需求，又能避免對(duì)被測(cè)物體表面造成損傷。

o 高分辨率定位：配備高分辨率的 CCD，可即時(shí)進(jìn)行高精度定位測(cè)量，有助于快速準(zhǔn)確地找到測(cè)量位置，提高測(cè)量效率。

o 多功能性：可對(duì)應(yīng)各種國(guó)際規(guī)范，測(cè)定參數(shù)多達(dá) 60 多種，滿足不同行業(yè)和應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)測(cè)量參數(shù)的多樣化需求。

o 廣泛的適用性：適用于各種與納米材料有關(guān)的 MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜 / 化學(xué)涂層以及平板顯示等領(lǐng)域，具有很強(qiáng)的通用性。

4. 產(chǎn)品參數(shù)（以P5551A為例）：

o 測(cè)定工件：

o 最大工件尺寸：210×210mm 至 300×400mm。

o 最大工件厚度：50mm。

o 最大工件重量：2kg。

o 檢出器（pickup）：

o z 方向測(cè)定范圍：max.100μm。

o z 方向分解能：0.1nm。

o 測(cè)定力：0.5μN(yùn) 至 500μN(yùn)。

o 觸針半徑：0.5μm、2μm。

o 驅(qū)動(dòng)方式：直動(dòng)式。

o x 軸（基準(zhǔn)軸）：

o 移動(dòng)量（最大測(cè)長(zhǎng)）：100mm。

o 移動(dòng)的真直度：0.005μm/5mm。

o 測(cè)定速度：0.005～2mm/s。

o 位置定位時(shí)速度：max.10mm/s。

o 線性尺（linear scale）分解能：0.01μm。

o 位置定位再現(xiàn)性：±5μm。

o 滑軌材質(zhì)：在鑄鐵（CD - 5）上鍍上硬質(zhì) Cr，無潤(rùn)滑（于移動(dòng)臺(tái)側(cè)，使用鐵弗龍折動(dòng)材料）。

o 驅(qū)動(dòng)：DC motor + dynamic belt。

o y 軸（位置決定用）：

o 移動(dòng)量：52mm。

o 移動(dòng)速度：max.3mm/s。

o 滑軌：cross roller 滑軌。

o 驅(qū)動(dòng)：DC motor + 滾珠螺桿（p = 2mm）。

o 檢出器自動(dòng)停止機(jī)能。

o 工件臺(tái)：

o 工件臺(tái)尺寸：210mm×210mm。

o 自動(dòng)傾斜量：x 為 ±1mm/150mm，y 為 ±1mm/186mm。

o 分解能：0.25μm。

o 驅(qū)動(dòng)：pulse motor。

o 其他：

o 全自動(dòng)量測(cè)功能。

o 工件觀察：max.80 倍（可選購(gòu)其它高倍率 CCD）。

o 床臺(tái)材質(zhì)為花崗巖石。

o 段差測(cè)定再現(xiàn)性：1δ，5a° 以內(nèi)。

o 防振臺(tái)（選購(gòu)）：落地型或桌上型。

o 電源：AC100V±10%，50/60Hz，800VA。

o 本體外觀尺寸：W660×D580×H660mm（不含防震臺(tái)）。