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Beneq Prodigy ALD

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

ALD

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,電氣

1.產(chǎn)品概述:

Beneq Prodigy™ 是 VCSEL、LED 和 MEMS 制造商和代工廠的理想制造解決方案,他們希望通過(guò)經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的獨(dú)立 ALD 批處理工具提高設(shè)備性能和可靠性。Beneq Prodigy 為多種晶圓類型和尺寸提供同類佳的鈍化和/或封裝膜。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

價(jià)值以更低的價(jià)格提供技術(shù)。 Prodigy在經(jīng)濟(jì)性、容量和可靠性方面為化合物半導(dǎo)體和MEMS制造市場(chǎng)提供了的突破。

單純有更多時(shí)間思考解決方案。 Prodigy 通過(guò)水平晶圓處理的自動(dòng)裝載以及直接的維護(hù)和可維護(hù)性以及輕松的側(cè)面檢修,提供了純粹的簡(jiǎn)單性。

創(chuàng)新定義新標(biāo)準(zhǔn)。 該工具為采用ALD的化合物半導(dǎo)體和MEMS器件的經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的大批量制造設(shè)定了全新的標(biāo)準(zhǔn)。我們使用 Beneq 超過(guò) 15 年積累的簡(jiǎn)單自動(dòng)化和可靠的反應(yīng)器設(shè)計(jì),為應(yīng)用域提供經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的結(jié)果。

晶圓廠就緒Beneq Prodigy 與 SECS/GEM 通信功能兼容,并符合高的 SEMI S2 標(biāo)準(zhǔn)。    






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