化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>物理氣相沉積設(shè)備>eVictor Al PVD 鋁物理氣相沉積系統(tǒng)
eVictor Al PVD 鋁物理氣相沉積系統(tǒng)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 北方華創(chuàng)
- 型號(hào) eVictor Al PVD
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/5 17:07:46
- 訪問(wèn)次數(shù) 360
產(chǎn)品標(biāo)簽
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1. 產(chǎn)品概述
eVictor Al PVD 鋁物理氣相沉積系統(tǒng)，先進(jìn)的磁控濺射系統(tǒng)，有效提高薄膜均勻性及靶材利用率。
2. 設(shè)備用途/原理
eVictor Al PVD 鋁物理氣相沉積系統(tǒng)，先進(jìn)的磁控濺射系統(tǒng)，有效提高薄膜均勻性及靶材利用率，加熱基座和高溫靜電卡盤設(shè)計(jì)，具備良好的溫度均勻性，全新雙腔傳輸平臺(tái)，可配置性強(qiáng)，多可支持 10 個(gè)工藝模塊，優(yōu)質(zhì)的 Whisker 解決方案，降低產(chǎn)品缺陷，大產(chǎn)能，低運(yùn)營(yíng)成本。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶圓尺寸 8、12 英寸，適用材料 高溫鋁、氮化鉭、氮化鈦。適用工藝 熱鋁、鋁焊盤、鋁線，適用域 新興應(yīng)用。
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