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施啟樂(廣州)儀器有限公司

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Bpure系列 立式/臥式管舟清洗設備

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

產地類別 國產 價格區(qū)間 面議
應用領域 綜合

1. 產品概述

立式/臥式管舟清洗機,如Bpure Series系列,采用先進的清洗工藝,能夠高效、清洗各種石英管、舟、碳化硅管及其它石英材質的零部件,如石英板、點火炮、保溫桶等。這些設備不僅適用于12英寸及以下尺寸的擴散、外延等設備的清洗,還具備廣泛的兼容性,能夠滿足不同工藝和材料的清洗需求。

2. 設備用途/原理

立式/臥式管舟清洗設備廣泛應用于集成電路、功率半導體、化合物半導體等高科技領域,以及科研機構的實驗室中。它們在這些領域中發(fā)揮著重要作用,確保了半導體器件和設備的生產質量和可靠性。

3. 設備特點

全自動清洗:設備采用全自動控制系統(tǒng),操作簡便,能夠大幅度提高清洗效率,降低人工成本。

多種清洗工藝可選:設備提供浸泡式清洗與噴淋式清洗兩種工藝可選,用戶可根據實際需求選擇合適的清洗方式。

一機多用:設備設計靈活,可兼容多種石英管、舟及工件的清洗,滿足不同場合和工藝的需求。

自主研發(fā)控制系統(tǒng):配備自主研發(fā)的控制系統(tǒng),具有友好的人機交互界面,方便用戶操作和維護。

自動配液系統(tǒng):設備配備自動配液系統(tǒng),換酸便捷,能夠減少化學試劑的浪費,并降低操作風險。

分級安全互鎖設置:設備設有分級安全互鎖裝置,確保設備在運行過程中的安全性和可靠性。



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