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HORIC L200 系列 臥式 LPCVD 氣相沉積系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
  • 品牌 北方華創(chuàng)
  • 型號 HORIC L200 系列
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/9/5 17:43:28
  • 訪問次數(shù) 305

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

HORIC L200 系列 臥式 LPCVD  氣相沉積系統(tǒng),半導體客戶端機臺裝機量大,可根據(jù)客戶需求配置多工藝組合的機臺。可提供先進成熟的 MES 系統(tǒng)解決方案.優(yōu)異的工藝技術支持。

2. 設備用途/原理

HORIC L200 系列 臥式 LPCVD 系統(tǒng),半導體客戶端機臺裝機量大可根據(jù)客戶需求配置多工藝組合的機臺。高可靠性、穩(wěn)定性 Higher reliability and stability。安全性能高:設備及所使用的元件符合國標和國際標準。可提供先進成熟的 MES 系統(tǒng)解決方案。優(yōu)異的工藝技術支持

3. 設備特點

晶圓尺寸 4、6、8 英寸,適用材料硅、碳化硅、硅基氮化鎵。適用工藝  氮化硅、氧化硅、多晶硅、摻雜多晶硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃。適用域  科研、化合物半導體。




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