化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>物理氣相沉積設(shè)備>eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)
eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 北方華創(chuàng)
- 型號(hào) eVictor系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2024/9/5 10:18:26
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 201
產(chǎn)品標(biāo)簽
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1. 產(chǎn)品概述
eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，加熱基座設(shè)計(jì)，具備良好的溫度均勻性，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無(wú)累溫。
2. 設(shè)備用途/原理
eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，加熱基座設(shè)計(jì)，具備良好的溫度均勻性，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無(wú)累溫，高溫鋁工藝具備高深寬比填充能力，背金工藝薄片傳輸及工藝，過(guò)程溫度實(shí)時(shí)監(jiān)控，優(yōu)異的溫度和應(yīng)力控制能力，雙腔傳輸平臺(tái)，多可支持 10 個(gè)工藝模塊，靶材利用率高，大產(chǎn)能，低運(yùn)營(yíng)成本。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶圓尺寸 6、8 英寸，適用材料 鈦、氮化鈦、鋁、 鎳、鎳釩、銀。適用工藝 鋁線(xiàn)、正面電工藝、背面金屬化工藝等。適用域 科研、化合物半導(dǎo)體、集成電路。
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