1. 產品概述

MARS iCE115 碳化硅外延系統(tǒng)，薄膜和厚膜外延兼容，工藝穩(wěn)定性高。

2. 設備用途/原理

MARS iCE115 碳化硅外延系統(tǒng)，薄膜和厚膜外延兼容，工藝穩(wěn)定性高，具備多層外延能力，氣流場和加熱場設計，工藝性能優(yōu)異，可靠的壓力控制系統(tǒng)，成膜質量均一性好。

3. 設備特點

晶圓尺寸 4、6 英寸，適用材料 碳化硅 SiC，適用工藝 N&P 碳化硅外延，適用域 科研、化合物半導體。?碳化硅外延系統(tǒng)的工作原理主要依賴于化學氣相沉積（CVD）技術。?這一技術通過載氣將反應氣體輸送到反應室內，在一定的溫度和壓力條件下，反應氣體分解并發(fā)生化學反應，形成中間化合物擴散到碳化硅襯底表面，從而生長出外延層。這種外延生長技術能夠有效地控制摻雜濃度和薄膜厚度，以滿足設計要求，同時減少襯底中的缺陷，提高器件良率。反應室內的氣流場和溫度場對碳化硅外延生長至關重要，因為它們直接影響外延層的質量和均勻性。