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掃描電鏡SEM

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掃描電鏡SEM半導(dǎo)體測(cè)量

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

一、產(chǎn)品概述:

掃描電鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)是一種高分辨率的顯微鏡,利用電子束掃描樣品表面以獲取其形貌和組成的信息。SEM能夠提供詳細(xì)的三維表面圖像,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、電子工程、生物學(xué)和地質(zhì)學(xué)等領(lǐng)域。

二、設(shè)備用途/原理

·設(shè)備用途

EM主要用于材料表面的形貌分析、微觀結(jié)構(gòu)觀察和成分分析。它在半導(dǎo)體器件的缺陷檢測(cè)、金屬和合金的微觀結(jié)構(gòu)研究、以及生物樣品的形態(tài)觀察中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。SEM還常用于材料的質(zhì)量控制和研發(fā)過(guò)程中的性能評(píng)估。

·工作原理

SEM的工作原理是將高能電子束聚焦到樣品表面,電子束與樣品相互作用產(chǎn)生二次電子、反射電子和特征X射線等信號(hào)。通過(guò)收集這些信號(hào),SEM能夠生成樣品表面的高分辨率圖像。電子束的掃描可通過(guò)計(jì)算機(jī)控制,實(shí)現(xiàn)多角度觀察和深度信息提取。由于其高分辨率和大景深特性,SEM能夠提供豐富的樣品表面信息,助力多領(lǐng)域的研究和應(yīng)用。

三、主要技術(shù)指標(biāo):

1. FE-SEM獲得的圖像分辨率高,信息豐富,樣品處理相對(duì)簡(jiǎn)單,并且它可以觀察、測(cè)量并分析樣品的細(xì)微結(jié)構(gòu),因此被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù) 、半導(dǎo)體、電子器件、生命科學(xué)、材料等域

2. 電子槍種類:冷場(chǎng)發(fā)射

3. 二次電子圖象分辨率:0.6 nm@15kV;0.7nm@1kV

4. 放大倍數(shù):20-2,000,000x

5. 加速電壓:0.5-30kV






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