化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>制樣/消解設(shè)備>電子束刻蝕系統(tǒng)>亞科 多功能電子束曝光系統(tǒng)PIONEER Two
亞科 多功能電子束曝光系統(tǒng)PIONEER Two
- 公司名稱(chēng) 北京亞科晨旭科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) 亞科
- 產(chǎn)地 德國(guó)
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間 2024/9/25 15:38:21
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 1381
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 150萬(wàn)-200萬(wàn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
RAITH多功能電子束曝光系統(tǒng)PIONEER Two
多功能電子束曝光機(jī)
電子束曝光和成像的完美結(jié)合
超高分辨電子束曝光成像系統(tǒng)
電子束曝光與高分辨成像的完美結(jié)合
緊湊型高性?xún)r(jià)比的多功能電子束曝光系統(tǒng)
PIONEERTM 集成了電子束曝光及成像分析雙功能,是高校和科研人員的理想選擇。從理念上,PIONEER Two是一個(gè)全新的*的設(shè)備,真正意義上實(shí)現(xiàn)了電子束曝光和成像的完美結(jié)合。
PIONEER Two將專(zhuān)業(yè)電子束曝光設(shè)備和電子成像系統(tǒng)所有的先進(jìn)性能,融合成一套獨(dú)立的成套系統(tǒng)。多功能性、穩(wěn)定性、用戶(hù)友好性操作,使PIONEER Two系統(tǒng)適合于不僅追求納米結(jié)構(gòu)的制作及再觀(guān)察功能,且需要材料及生命科學(xué)領(lǐng)域中對(duì)化學(xué)成分及結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析的所有用戶(hù)。
電子束曝光及成像
- 集成先進(jìn)的熱場(chǎng)發(fā)射電子光學(xué)柱(TFE, Gemini電子光學(xué)柱) 技術(shù),實(shí)現(xiàn)專(zhuān)業(yè)電子束曝光系統(tǒng)領(lǐng)域中的小束斑尺寸(1.6 nm)
- 專(zhuān)業(yè)的電子束曝光系統(tǒng)中集成樣品架旋轉(zhuǎn)傾斜模塊的激光干涉控制樣品臺(tái),保留了電子成像設(shè)備的所有功能,實(shí)現(xiàn)高精度的定位
- 模塊化設(shè)計(jì)和高性?xún)r(jià)比,可滿(mǎn)足所有科研預(yù)算:可根據(jù)應(yīng)用的具體需求添加選件,以提高曝光速度、自動(dòng)化程度,及成像分析功能
- 實(shí)現(xiàn)真正意義的多用戶(hù)管理功能:用戶(hù)登陸到自己的界面進(jìn)行圖形編輯、工藝流程控制、參數(shù)文件管理等操作,就像使用自己的電腦一樣簡(jiǎn)單方便
- 各種可選擇的探測(cè)器(ET-SE, inlens SE, inlens EsB, AsB, EDX ...) ,以實(shí)現(xiàn)電子束曝光中的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記識(shí)別、成像及分析等多種功能
- 小巧緊湊的系統(tǒng)架構(gòu)
遠(yuǎn)優(yōu)于SEM加圖形發(fā)生器的改造系統(tǒng)
PIONEER Two是從掃描電鏡加圖形發(fā)生器的改造系統(tǒng)到專(zhuān)業(yè)的電子束曝光系統(tǒng)之間的過(guò)度設(shè)備,相比于先進(jìn)的帶有第三方圖形發(fā)生器及壓電工作臺(tái)的掃描電鏡,PIONEER Two是一款高性?xún)r(jià)比的成套的電子束曝光系統(tǒng),其設(shè)備的集成、技術(shù)服務(wù)支持等都由一家值得信任的供應(yīng)商提供。
集成專(zhuān)業(yè)EBL系統(tǒng)*的高精度激光干涉控制樣品臺(tái)技術(shù), PIONEER Two 可實(shí)現(xiàn)EBL系統(tǒng)所保證的曝光參數(shù),遠(yuǎn)優(yōu)于SEM加圖形發(fā)生器的改造電子束曝光設(shè)備。
PIONEER Two 電子束曝光應(yīng)用
- 25nm間距的納米領(lǐng)結(jié)結(jié)構(gòu)陣列
- 20keV下在HSQ膠上曝光亞8nm線(xiàn)條
- 獨(dú)立的多終端石墨烯器件
- 可調(diào)InAs/InP單電子晶體管
- 自校準(zhǔn)浮動(dòng)?xùn)藕腿切瓮ǖ赖氖覝貑坞娮哟鎯?chǔ)器件
- 光學(xué)數(shù)模轉(zhuǎn)換器
- 微米齒輪泵
- 多對(duì)金開(kāi)口環(huán)共振器的手性超材料結(jié)構(gòu)
PIONEER Two SEM 應(yīng)用
- 采用標(biāo)配ET二次電子探測(cè)器在1.5kV下對(duì)Bi2-Ca2-Co化合物進(jìn)行成像
- 采用inlens二次電子探測(cè)器在1.5kV下對(duì)Bi2-Ca2-Co化合物進(jìn)行成像,得到材料的高對(duì)比度成像及表面特征
- 采用inlens背散射電子探測(cè)器在1.5kV下對(duì)Bi2-Ca2-Co化合物進(jìn)行成像,實(shí)現(xiàn)非凡的材料對(duì)比度成像,不同對(duì)比度代表不同的金屬元素
- 樣品臺(tái)傾斜時(shí)進(jìn)行高分辨成像
PIONEER Two 產(chǎn)品詳情
主要應(yīng)用:
| 電子槍技術(shù):
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