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離子濺射成膜裝置
主要由真空室和鍍膜靶組成。工作時(shí)，幾個(gè)金屬靶材對著基板安置于真空室中。靶材上放置有一個(gè)陰極，該陰極會發(fā)射電子。電子被磁場聚焦并加速到高速，撞擊靶材表面后會將原子或分子從靶材表面剝離。 剝離的原子和分子穿過反應(yīng)室，在經(jīng)過減壓區(qū)域后，抵達(dá)基板表面并生成均勻的薄膜。
MSP-mini是用于臺式SEM觀察、光學(xué)顯微鏡的離子濺射成膜裝置。
★小面積目標(biāo)物，最大限度地減少涂層小面積樣品時(shí)的浪費(fèi)
使用（φ30mm）。
★試料臺是滑動玻璃原封不動地裝載的平板試料臺。
★低電壓涂層，即使對敏感的樣品也不會造成樣品損傷。
★用一個(gè)按鈕全自動進(jìn)行排氣、涂層、泄漏。
★目標(biāo)金屬為金（Au）標(biāo)準(zhǔn)。您可以選擇銀（Ag）選項(xiàng)。
★排氣系統(tǒng)采用外置RP 5升/min。
★輔助樣品階段（可選）可提高涂層速率和效率
可以成膜。
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