精品KAKUHUNTER寫真化學(xué)紅外透射膜厚監(jiān)測(cè)儀
精品KAKUHUNTER寫真化學(xué)紅外透射膜厚監(jiān)測(cè)儀
精品KAKUHUNTER寫真化學(xué)紅外透射膜厚監(jiān)測(cè)儀
特征
紅外透射膜厚監(jiān)測(cè)儀可測(cè)量電池隔膜等半透明片材、黑色抗蝕劑等低反射膜、硅片等的厚度。這是一款紅外吸收式薄膜測(cè)厚儀,可用于從實(shí)驗(yàn)室水平到生產(chǎn)過(guò)程中100%在線檢測(cè)的所有情況。
這是一種紅外薄膜測(cè)厚儀,采用由緊湊型鏡面探頭組成的透射光學(xué)系統(tǒng),可通過(guò) 100 多個(gè)波長(zhǎng)的光譜同時(shí)精確測(cè)量薄膜厚度、密度和成分等多個(gè)參數(shù)。
1
測(cè)量半透明片、低反射膜、硅等
的厚度,這是使用光學(xué)干涉測(cè)量法難以做到的。2
小型光纖探頭
通過(guò)使用小型30mm反射探頭,
可以安裝在設(shè)備或生產(chǎn)線內(nèi)的狹小空間內(nèi)。另外,探頭
與主體僅通過(guò)光纖
連接,因此具有優(yōu)異的耐環(huán)境性。3
高速測(cè)量100多個(gè)點(diǎn)同時(shí)采樣
950至1650 nm的近紅外波長(zhǎng)可以實(shí)現(xiàn)短至 1 毫秒的高速采樣。
可在生產(chǎn)線上進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)和測(cè)量。
由于不會(huì)旋轉(zhuǎn)干涉濾光片等,因此具有出色的耐用性和可靠性。4
厚度測(cè)量重復(fù)性0.1%以下(3σ)
5
兩種可選的測(cè)量算法
測(cè)量算法 校準(zhǔn)樣品 測(cè)量目標(biāo) 蘭伯特-比爾法 1 種 僅厚度 最小二乘回歸法 2種以上 多重(厚度、密度、特定成分的混合量等)
測(cè)量示例(鋰離子電池隔膜)
可以同時(shí)測(cè)量厚度和涂層重量。
測(cè)量示例(硅基板上的黑色抗蝕劑膜厚)
現(xiàn)在可以測(cè)量硅基板上黑色抗蝕劑的厚度,這對(duì)于使用反射光譜的光學(xué)干涉膜厚計(jì)來(lái)說(shuō)是很難做到的。
作品
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