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KAKUHUNTER寫真化學(xué)測(cè)繪測(cè)量膜厚儀
KAKUHUNTER寫真化學(xué)測(cè)繪測(cè)量膜厚儀
KAKUHUNTER寫真化學(xué)測(cè)繪測(cè)量膜厚儀
特征
測(cè)繪膜厚儀能夠?qū)ψ畲?00mm的晶圓整個(gè)表面進(jìn)行自動(dòng)測(cè)繪膜厚測(cè)量。自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能和高度平坦的晶圓吸盤可實(shí)現(xiàn)高度可靠的膜厚測(cè)量。 另外，通過設(shè)置在半導(dǎo)體制造裝置的裝載口，可以在保持清潔度的同時(shí)管理制造裝置上的膜厚。
1
可對(duì)最大 300mm 的晶圓進(jìn)行全表面自動(dòng)薄膜厚度測(cè)繪測(cè)量
2
自動(dòng)對(duì)位功能
通過自動(dòng)檢測(cè)缺口和定向平面位置以及自動(dòng)檢測(cè)晶圓偏心，實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。
3
通過使用具有高平坦度的晶圓卡盤，提高了晶圓平面內(nèi)的測(cè)量可靠性
4
可以根據(jù)應(yīng)用選擇三種類型的光源
5
透明蓋使測(cè)量過程中的運(yùn)動(dòng)一目了然
6
一體化設(shè)計(jì)節(jié)省空間
測(cè)量數(shù)據(jù)示例（2D膜厚分布）
貼合晶圓的硅厚度（nm）測(cè)量數(shù)據(jù)示例（3D膜厚分布）
貼合晶圓的硅厚度（nm）測(cè)量數(shù)據(jù)示例（膜厚頻率分布）
貼合晶圓的硅厚度測(cè)量數(shù)據(jù)示例（多個(gè)晶圓的膜厚分布箱線圖）
5個(gè)晶圓的膜厚分布趨勢(shì)
我想輕松測(cè)量透明多層薄膜每一層的厚度。
我想自動(dòng)測(cè)量多個(gè)點(diǎn)的薄膜厚度。
我想以10μm以下的高分辨率研究膜厚分布。
我想測(cè)量半透明板的厚度。
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