臺式掃描電鏡的操作步驟與維護保養(yǎng)

來源：深圳市中圖儀器股份有限公司 2024年10月18日 08:45

　　臺式掃描電鏡的操作步驟通常包括以下幾個關(guān)鍵階段：

　　樣品制備：確保樣品干燥、清潔，并牢固地粘貼在導(dǎo)電膠上。使用潔凈的壓縮氣體吹掃樣品表面，以去除任何雜質(zhì)。

　　設(shè)備設(shè)置：將樣品放入掃描電鏡的樣品杯中，并調(diào)整樣品臺的位置，使其低于樣品杯上緣一定距離。然后，打開掃描電鏡的艙門，將樣品杯放入，并關(guān)閉艙門。

　　參數(shù)調(diào)節(jié)：在掃描電鏡的控制面板上，設(shè)置合適的加速電壓和束流，通常加速電壓選擇在1-30kV范圍內(nèi)。接著，進行聚焦和放大倍數(shù)的調(diào)整，以獲得清晰的圖像。

　　圖像捕捉：在最佳成像條件下，捕捉并保存所需的圖像。

　　維護保養(yǎng)方面，臺式掃描電鏡需要定期進行以下工作：

　　清潔：定期清潔掃描電鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)和真空系統(tǒng)，以防止污染和性能下降。使用專用的清潔工具和溶劑，確保不會損壞設(shè)備。

　　檢查：定期檢查設(shè)備的各個部件，包括電子槍、探測器、樣品臺等，確保其正常工作。

　　校準(zhǔn)：定期對掃描電鏡進行校準(zhǔn)，以確保其成像質(zhì)量和分辨率的準(zhǔn)確性。

　　記錄：如實記錄設(shè)備的使用時間、維護情況和任何異常情況，以便及時發(fā)現(xiàn)并解決問題。

　　遵循正確的操作步驟和定期的維護保養(yǎng)，可以確保臺式掃描電鏡的長期穩(wěn)定運行和成像質(zhì)量。

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