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光刻烤膠機(jī)可長(zhǎng)時(shí)間持續(xù)穩(wěn)定工作，適用于各種光刻工藝需求，確保烘膠效果和質(zhì)量。其緊湊的外形設(shè)計(jì)和觸摸屏參數(shù)設(shè)置使操作方便，是實(shí)驗(yàn)室和制程工作的可靠選擇。
光刻烤膠機(jī)的操作步驟：
1、檢查烤膠機(jī)的溫度控制系統(tǒng)是否正常，包括加熱板的溫度均勻性和穩(wěn)定性。確認(rèn)設(shè)備的通風(fēng)和排氣系統(tǒng)是否暢通，以防止有害氣體的積聚。
2、對(duì)涂有感光膠的硅片進(jìn)行視覺(jué)檢查，排除表面有明顯的污漬或損傷。將硅片放置在烤膠機(jī)的加熱板上，注意要輕放以避免造成膠層的不均勻或氣泡的產(chǎn)生。確保硅片與加熱板的良好接觸，以保證熱量能夠均勻傳遞。
3、溫度控制是烤膠過(guò)程中的關(guān)鍵。前烘的溫度設(shè)置在較低的水平，目的是慢慢驅(qū)除膠層中的溶劑，避免溶劑過(guò)快蒸發(fā)導(dǎo)致膠層出現(xiàn)針孔或裂紋。后烘的溫度則需要根據(jù)感光膠的型號(hào)和特性來(lái)設(shè)定，通常比前烘的溫度要高，以確保曝光后的圖案能夠固定下來(lái)。烤膠時(shí)間需要根據(jù)膠層的厚度和所需的固化程度來(lái)設(shè)定。
4、烤膠完成后，小心地將硅片從烤膠機(jī)上取下，并對(duì)其進(jìn)行冷卻處理。冷卻后的硅片可以進(jìn)行后續(xù)的光刻曝光和顯影處理。
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