FUJI-US 富士工業(yè)多成分濃度計(jì) FUD-1 MODEL-53 是一款性能出色的濃度測量儀器,以下是關(guān)于它的詳細(xì)介紹:
測量原理4:
特點(diǎn)與優(yōu)勢:
標(biāo)配模擬 DC4~20mA(2 系統(tǒng))及數(shù)字 RS232C 輸出信號,方便與其他設(shè)備進(jìn)行連接和數(shù)據(jù)傳輸。
標(biāo)配測量錯(cuò)誤輸出和報(bào)警輸出,當(dāng)測量結(jié)果超出設(shè)定的上下限或出現(xiàn)異常時(shí),可及時(shí)發(fā)出警報(bào)。
具備自診斷功能和錯(cuò)誤消息顯示,方便用戶快速排查和解決問題。
擁有輸出范圍設(shè)定、濃度顯示移動(dòng)平均、濃度顯示偏移及增益設(shè)定、故障安全、異常值消除、溫度時(shí)間常數(shù)校正等多種功能。
高精度測量:能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的連續(xù)測量,測量結(jié)果準(zhǔn)確可靠,可滿足多種工業(yè)生產(chǎn)過程中對濃度精確控制的要求123。
免維護(hù):儀器無需定期調(diào)整和校準(zhǔn),沒有易磨損或老化的部件,減少了維護(hù)成本和工作量123。
易于安裝:小型、輕質(zhì)的單元式發(fā)射器可直接安裝在生產(chǎn)線上,且安裝時(shí)不需要進(jìn)行復(fù)雜的調(diào)整,操作簡便126。
實(shí)時(shí)輸出與反饋:可實(shí)時(shí)輸出測量結(jié)果,便于操作人員及時(shí)了解生產(chǎn)過程中的濃度變化,輕松實(shí)現(xiàn)對生產(chǎn)過程的反饋控制126。
多種功能配置125:
應(yīng)用領(lǐng)域125:
在半導(dǎo)體制造工藝中,可用于 CMP 工序中的 CMP 漿料及氧化劑濃度管理、清洗過程中的清洗液濃度管理(如 HF+HNO?、HF+H?SiF?等)、蝕刻過程中的蝕刻液濃度管理(如 TMAH + 抗蝕劑、TMAH+Si 等)。
適用于金屬酸洗過程中的酸液濃度控制、化學(xué)工業(yè)中兩種混合化學(xué)品的濃度控制等其他工業(yè)生產(chǎn)過程中的多成分濃度監(jiān)測與管理。
規(guī)格參數(shù)156:
電源:AC100V 至 240V 50/60Hz,30VA(也可使用 DC24V)。
環(huán)境溫度:轉(zhuǎn)換器為 0~50°C,RH85% 以下(無冷凝);測量液體溫度一般為 0~100°C,特殊規(guī)格為 - 10~160°C(100°C 寬度)。
顯示:采用 LCD 顯示屏,可顯示濃度 1、濃度 2、溫度、聲速、電導(dǎo)率等各種參數(shù)。
輸出信號:模擬 DC4~20mA 有 2 個(gè)系統(tǒng)(可根據(jù)濃度值自由設(shè)定),數(shù)字 RS232C 可輸出濃度 1、濃度 2、聲速、溫度、電導(dǎo)率、錯(cuò)誤代碼等信息。
通道:高達(dá) 7 通道(校準(zhǔn)曲線)。
發(fā)射器:有 SA-20S29 + 電導(dǎo)率計(jì)、SA-20S27 + 電導(dǎo)率計(jì)等示例,振動(dòng)元件為 PZT(2MHz),測量元件為熱敏電阻,接液部件材質(zhì)采用 PFA 等,重量為 2.5kg,電纜專用電纜 6m,環(huán)境溫度 5~45°C,耐壓 0.3MPa,流量 5 升 / 分鐘(推薦)。