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Heidolph旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀如何賦能半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展?

來源:海道爾夫儀器設(shè)備(上海)有限公司   2024年10月09日 09:20  


半導(dǎo)體行業(yè)是一個(gè)高度技術(shù)密集型的產(chǎn)業(yè),其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于各個(gè)高科技領(lǐng)域,不僅限于計(jì)算機(jī)、通信設(shè)備、照明、電子產(chǎn)品、工業(yè)控制、軍事系統(tǒng),在儀器以及醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域更是發(fā)揮著重要的作用,特別是在需要高精度、快速響應(yīng)和穩(wěn)定性方面。


Heidolph旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀如何賦能半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展?

Professor  Hei

Heidolph旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀如何賦能半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展?

在半導(dǎo)體行業(yè)中,旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀在以下幾個(gè)方面發(fā)揮著重要作用:

01

溶劑回收

在半導(dǎo)體制造過程中,經(jīng)常使用各種溶劑進(jìn)行清洗、蝕刻等步驟。這些溶劑可以通過旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀回收再利用,減少成本并降低環(huán)境污染。


02

前驅(qū)體溶液制備

制備用于化學(xué)氣相沉積(CVD)、原子層沉積(ALD)等工藝中的前驅(qū)體溶液時(shí),需要精確控制溶劑的比例。旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀可以用來濃縮或調(diào)整溶液的濃度。


03

表面處理

對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行表面處理時(shí),可能會(huì)用到含有特定溶劑的溶液。旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀可以幫助去除這些溶劑,留下純凈的處理層。


04

研發(fā)實(shí)驗(yàn)

通過對(duì)半導(dǎo)體材料、工藝和使用技術(shù)的探索和改進(jìn),對(duì)人類生活、醫(yī)療生活、工業(yè)方面都有著深遠(yuǎn)的影響。在研發(fā)新的半導(dǎo)體材料或工藝時(shí),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀可以作為一種通用的溶劑處理設(shè)備,幫助研究人員進(jìn)行樣品制備、純化等工作。

Heidolph旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀如何賦能半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展?

半導(dǎo)體行業(yè)的制造以及處理工藝對(duì)清潔度要求高,使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀時(shí)必須確保設(shè)備本身的潔凈度,避免引入任何雜質(zhì)影響最終產(chǎn)品的性能。因此需要定期進(jìn)行儀器的清潔與維護(hù),使用前需要清潔所有玻璃件和金屬部件,使用適合的溶劑(如丙酮、異丙醇)去除油脂和殘留物,清潔后,使用高純度的溶劑沖洗,必要時(shí)進(jìn)行干燥處理。


使用高品質(zhì)溶劑,確保所用溶劑的純度符合半導(dǎo)體級(jí)要求,避免因溶劑自身含有的雜質(zhì)而污染樣品;另外,需要在潔凈室或超凈工作臺(tái)中使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,以減少空氣中顆粒物和微生物的污染,控制操作區(qū)域的溫度和濕度,避免冷凝水的形成,減少微生物生長的可能性。此外,對(duì)于一些特殊溶劑或者敏感材料的操作,還需要特別注意操作條件的選擇,比如溫度、壓力等參數(shù)的設(shè)置。

Heidolph旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀如何賦能半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展?

因此盡可能使用滿足半導(dǎo)體行業(yè)要求的旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,更高的清潔度、更強(qiáng)的密封性和更好的耐腐蝕性可以保證最終產(chǎn)品的性能及可靠性。


Heidolph旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀所配置的密封圈由高抗腐蝕性PTFE-FKM所制成,結(jié)合了聚四氟乙烯(PTFE)和氟橡膠(FKM)的優(yōu)點(diǎn),能夠確保設(shè)備在苛刻的實(shí)驗(yàn)室條件下保持良好的性能和持久的密封能力,提供了可靠的密封解決方案。

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Heidolph PTFE-FKM密封圈的主要優(yōu)勢:

耐化學(xué)性和耐老化性

PTFE的耐化學(xué)性強(qiáng),可以抵抗多種化學(xué)品的侵蝕。FKM同樣具有良好的耐化學(xué)性,尤其對(duì)于油類、燃料和某些溶劑具有很好的抵抗力。同時(shí),F(xiàn)KM具有較高的機(jī)械強(qiáng)度和耐磨性,能夠承受一定的壓力和磨損,在長時(shí)間投入使用后仍能保持良好的性能。

耐溫范圍廣

PTFE具有廣泛的耐溫范圍,可以在低溫至高溫下保持其性能。FKM也可以在較寬的溫度范圍內(nèi)保持良好的彈性。

低摩擦系數(shù)

PTFE的摩擦系數(shù)低,在密封過程中產(chǎn)生的摩擦較小,有利于延長設(shè)備的使用壽命。

低氣體滲透性

PTFE的低氣體滲透性有助于維持真空狀態(tài),這對(duì)于旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀等需要真空環(huán)境的設(shè)備非常重要。


Heidolph旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀如何賦能半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展?

Heidolph 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀所使用的玻璃組件均由肖特玻璃制成,具有如下特點(diǎn):

抗腐蝕、耐磨損

Heidolph 的玻璃組件具有高抗腐蝕性、抗熱沖擊性、耐外壓以及長壽命等特點(diǎn)。它能夠承受各種酸堿、腐蝕性介質(zhì)的侵蝕和摩擦磨損。其均勻、透明、光滑的表面,便于實(shí)驗(yàn)前后的清潔,它還具有抗紫外線的能力,而且玻璃管的高透明度和視覺效果不會(huì)受到涂層的影響。這些特性不僅有助于提高實(shí)驗(yàn)的準(zhǔn)確性,還能延長設(shè)備的使用壽命,確保實(shí)驗(yàn)的安全性。

穩(wěn)定的密封性

Heidolph 玻璃組件的生產(chǎn)工藝加工精度高,尺寸一致性好,冷凝器擁有標(biāo)準(zhǔn)端口直徑和法蘭尺寸,可以與其他材料直接氣密密封,從而加強(qiáng)了真空系統(tǒng)的密封性,降低了真空度泄露的風(fēng)險(xiǎn),提高了實(shí)驗(yàn)進(jìn)度和效率。


Heidolph旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀如何賦能半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展?

Heidolph旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀所使用的管路系統(tǒng)滿足嚴(yán)格的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn),采用高質(zhì)量的材料和嚴(yán)格的制造工藝,使得它們能夠在特定的應(yīng)用環(huán)境中安全有效地使用,還可以確保在蒸餾過程中不會(huì)對(duì)輸送的樣品造成污染。此外Heidolph旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀的管路還具有如下優(yōu)勢:

高度耐腐蝕

能夠抵御酸、堿、鹽等化學(xué)物質(zhì)的侵蝕,確保輸送的樣品不受腐蝕性物質(zhì)的影響。具有優(yōu)異的耐久性,使用壽命長,不會(huì)輕易受到破損和腐蝕,減少了更換和維修的頻率。

高溫抗性和高強(qiáng)度

能夠承受高溫環(huán)境下的使用,不會(huì)變形或釋放有害物質(zhì)。具有較高的強(qiáng)度和耐壓性能,能夠承受較大的水壓力,有利于系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。

安全衛(wèi)生

不含有害物質(zhì),不會(huì)對(duì)水質(zhì)或食品產(chǎn)生污染,確保輸送樣品的安全衛(wèi)生。

END





關(guān)于Heidolph


Heidolph集團(tuán)是創(chuàng)新型實(shí)驗(yàn)室前處理設(shè)備的制造廠商。磁力攪拌器、頂置式攪拌器、臺(tái)式旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀、工業(yè)大型旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀、蠕動(dòng)泵、混勻器、恒溫?fù)u床等相關(guān)產(chǎn)品構(gòu)成了Heidolph實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的產(chǎn)品線。集團(tuán)總部位于德國南部的紐倫堡附近的施瓦巴赫市。

作為Heidolph集團(tuán)全資子公司,海道爾夫儀器設(shè)備(上海)有限公司于2019年正式成立,旨在為中國用戶提供更為直接、更快速的服務(wù)。


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