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MKP氣體流量控制器VIC-D240
MKP氣體流量控制器VIC-D240
吳經(jīng)理： 132.4667.5433
VIC-D240氣體流量控制器
特點(diǎn)：
因適用PTFE DISK，整個(gè)區(qū)間的回應(yīng)時(shí)間快
對(duì)毒性和腐蝕性氣體的耐久性大幅增加
采用浪涌及耐電壓保護(hù)電路
通過(guò)溫度補(bǔ)正，在周?chē)鷾囟茸兓乱部删S持準(zhǔn)確度
產(chǎn)品配置
流量范圍(N2 標(biāo)準(zhǔn))：5sccm~2500slm
流量控制范圍：滿(mǎn)量程的2 ~ 10%
準(zhǔn)確度：滿(mǎn)量程的≤ ± 1%
回應(yīng)時(shí)間：≤ 1.0 sec (10 ~ 10%)
線(xiàn)性；滿(mǎn)量程的≤ ± 0.2%
運(yùn)轉(zhuǎn)原理；熱式
控制閥形式；Normally Closed Solenoid
密封種類(lèi)；Elastomer (Viton, Viton-ETP, Kalrez, etc.)
輸入輸出信號(hào)；模擬性: 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA
數(shù)字型: RS-485(Optional : DeviceNet, EtherCat)
MKP氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC）用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制；氣體質(zhì)量流量計(jì)（Mass Flow Meter縮寫(xiě)為MFM）用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。
電源供應(yīng)；+15VDC ~ +24VDC
運(yùn)轉(zhuǎn)溫度；5 ~ 50℃ (建議溫度范圍: 15 ~ 35℃)
連接器；Standard : D-SUB 9 pin Male
Optional : DeviceNet Micro style Connector, RJ45
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