經(jīng)常有用戶會(huì)問:你們的流量計(jì)可以改量程嗎?
通常一臺(tái)流量計(jì)被生成出來以后,量程就是確定的,為什么客戶會(huì)要求改量程呢?
這個(gè)問題還得從熱式流量計(jì)測量不同氣體說起。熱式流量計(jì)必須實(shí)流實(shí)標(biāo),才能確保準(zhǔn)確。如果用戶需要測量不同的氣體,熱式流量計(jì)通常會(huì)提供轉(zhuǎn)換系數(shù)。轉(zhuǎn)換系數(shù)是在實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)上總結(jié)的經(jīng)驗(yàn)系數(shù),不同品牌、不同型號(hào)的轉(zhuǎn)換系數(shù)也都不一樣。舉例說明,某量程為100SCCM的熱式流量計(jì),查看說明書得知從氮?dú)獾搅虻霓D(zhuǎn)換系數(shù)是0.272,那么把這臺(tái)流量計(jì)作為六氟化硫流量計(jì)時(shí),滿量程就是27.2SCCM,也就是所謂的“改量程”了。
由此可以看出,改量程是由于熱式流量計(jì)的轉(zhuǎn)換系數(shù)引起的。
而對(duì)于易度流量計(jì)來說,由于采用層流壓差原理,根據(jù)黏度來區(qū)分氣體類型。雖然不同氣體的黏度值也不相同,但是由于出廠按照空氣標(biāo)定,空氣黏度在常用氣體里處于中間位置,其他氣體的黏度值與空氣相差最多不超過兩倍,只要流道設(shè)計(jì)上保留足夠的余量,讓不同氣體通過時(shí)都能保持層流狀態(tài),就可以在不改變量程的情況下測量多種氣體。
因此對(duì)于易度流量計(jì)來說,并不存在“改量程”的說法,一臺(tái)易度100SCCM的層流壓差式流量計(jì),對(duì)于它可測量的六十多種氣體來說,量程都是100SCCM。
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