Bruker 納米壓痕儀: Hysitron PI 89 掃描電鏡聯(lián)用納米壓痕儀利用掃描電子顯微鏡(SEM、FIB/SEM)的成像能力,可以在成像的同時進行定量納米力學測試。這套新系統(tǒng)搭載 Bruker 的電容傳感技術,繼承了商業(yè)化原位 SEM 納米力學平臺的優(yōu)良功能。該系統(tǒng)可實現包括納米壓痕、拉伸、微柱壓縮、微球壓縮、懸臂彎曲、斷裂、疲勞、動態(tài)測試和力學性能成像等功能。
特點
可互換傳感技術,實現了更大范圍(10mNx500 mN、3.5N和150μ.m)的原位納米力學測試和微尺度力學測試
載荷和位移控制測試模式,可進行納米壓痕、壓縮、 拉伸、疲勞或彎曲測試
采用新編碼樣品臺技術(1 nm分辨率),可以在納米晶粒 內部進行壓痕操作
提供旋轉/傾斜臺兩種配置,從而在進行納米力學測試、二次電子成像、原位FIB加工和分析成像等操作時,樣品定位能力進一步提高
采用不過時的模塊化設計,原位測試相關技術得以不斷升級,包括800℃加熱、劃痕測試、電特性、掃描探針顯微鏡 (SPM)成像、力學性能成像(XPM)及動態(tài)疲勞測試等技術
配備PerformechII先進控制模塊,反饋頻率達到78 kHz, 數據采集頻率達到39 kHz,可以捕捉斷裂引發(fā)等瞬時事件
功能齊全
Hysitron PI 89可以輕松安裝到掃描電子顯微鏡臺上,不需 要一直固定在顯微鏡上。其設計小巧,大幅增加物臺傾斜 度、縮短工作距離,確保測試期間實現佳成像。
PI89平臺經過改裝,在系統(tǒng)的樣品位置增加了一個滑移臺。該設計可方便快速地調整樣品相對于傳感器的位置,并可配置可更換壓頭、樣品和其它附加裝置。
同時擴大了可用空間,可以容納更大的樣品、附加樣品臺和新的配件。
此外,選用新的直線編碼樣品臺,可以提高自動運動中的 重復性,同時擴大行程范圍。通過重新設計機械載荷架軸,提升了框架剛度。
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