電動物鏡轉(zhuǎn)盤

半導(dǎo)體、FPD 和 OLED 行業(yè)的污染控制

清潔度是半導(dǎo)體、FPD 和 OLED 制造行業(yè)的檢查人員很關(guān)心的問題，這一點關(guān)系到是否可以生產(chǎn)出功能正常的產(chǎn)品。因此，應(yīng)將檢測設(shè)備用于受控環(huán)境，如潔凈室。不允許灰塵從物鏡轉(zhuǎn)盤落到樣品上，如半導(dǎo)體晶圓。即使是微小的灰塵也會污染晶圓，破壞其功能，進而影響產(chǎn)品產(chǎn)量。

我們帶真空功能的電動物鏡轉(zhuǎn)盤 (U-D5BDREMC-VA) 使用負壓吸力，可減少物鏡轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)時落下的細粒數(shù)量，并捕獲潤滑系統(tǒng)所用潤滑脂產(chǎn)生的任何氣體或灰塵。這種真空功能使我們的物鏡轉(zhuǎn)盤成為受控潔凈室環(huán)境的理想選擇。物鏡轉(zhuǎn)盤可用作半導(dǎo)體和FPD檢測設(shè)備的內(nèi)置顯微鏡模塊。

用于污染控制的帶真空功能的物鏡轉(zhuǎn)盤

用于半導(dǎo)體晶圓檢測及其他用途的各種物鏡轉(zhuǎn)盤

我們提供各種物鏡轉(zhuǎn)盤，這些物鏡轉(zhuǎn)盤可集成到檢測、生產(chǎn)和研究領(lǐng)域的系統(tǒng)中。我們的選擇包含手動和電動選項。

• 手動物鏡轉(zhuǎn)盤：該產(chǎn)品系列可以支持諸如明場、暗場和微分干涉對比 (DIC) 等觀測方法，可以容納四至七個物鏡，滿足 ESD 規(guī)范等。

• 帶編碼功能的物鏡轉(zhuǎn)盤：這種類型的手動物鏡轉(zhuǎn)盤可以檢測轉(zhuǎn)盤的物鏡安裝孔位置。您可以使用軟件將物鏡的放大倍率信息與其在轉(zhuǎn)盤上的位置相匹配，使您能夠更快地將放大倍率信息添加到捕獲的圖像中，同時降低手動數(shù)據(jù)輸入錯誤的風(fēng)險。

• 電動物鏡轉(zhuǎn)盤：這種類型的物鏡轉(zhuǎn)盤可以通過電動方式移動五個或六個物鏡。帶有真空功能的電動物鏡轉(zhuǎn)盤同樣已經(jīng)推出。

• 帶對中功能的物鏡轉(zhuǎn)盤：這種類型的物鏡轉(zhuǎn)盤可讓您通過手動或電動方式將物鏡的光軸對中。這樣可以改變物鏡轉(zhuǎn)盤的孔位置，以便針對每個物鏡的細微移動進行調(diào)整。最終將所有安裝的物鏡對準(zhǔn)。經(jīng)過調(diào)整，您會發(fā)現(xiàn)更換物鏡前后，中心位置是相同的。

• 物鏡支架轉(zhuǎn)接器：這款轉(zhuǎn)接器 (STM7-MMOBAD) 可讓您只使用一個物鏡。如果您的應(yīng)用不需要多個物鏡，那這是一種經(jīng)濟實惠的選擇。請注意，這款轉(zhuǎn)接器（適配器）僅配備 RMS 螺絲 W26，并且沒有用于暗場照明的光路。

您只需將一個物鏡連接到支持多個物鏡的系統(tǒng)，物鏡適配器 (STM7-MMOBAD) 實現(xiàn)了靈活性。左側(cè)：使用物鏡適配器連接了一個物鏡。中間：連接轉(zhuǎn)盤前。右側(cè)：使用物鏡轉(zhuǎn)盤連接了多個物鏡。