通常使用光學(xué)系統(tǒng)對濾膜進行全自動分析來驗證清潔度。顆粒物檢測、測量和分類很大程度上取決于鏡頭（即放大率和分辨率）、照明類型（例如偏振、明場或暗場）、圖像處理軟件中使用的閾值以及顆粒物特性（尺寸、成分、反射率等）。因此，在比較相同類型顆粒的結(jié)果時，光學(xué)系統(tǒng)和分析參數(shù)必須相同。
 

標準光學(xué)分析
為了提供有意義的比較，建議進行標準光學(xué)分析。標準光學(xué)分析中，在確定規(guī)范之前定義圖像設(shè)置和分析過程，因此與使用的系統(tǒng)無關(guān)。
 

顆粒物的檢測和測量
測量的精度主要由顯微鏡鏡頭的放大倍率和分辨率決定。更高的放大倍率可以提高精度，但也會降低景深。因此，當在高放大倍率下測量小顆粒時，垂直方向的電動平臺系統(tǒng)可以補償?shù)途吧詈瓦^濾器表面的不規(guī)則性。使用高放大倍率還需要分析大量圖像，以便全面檢查濾光片。因此，必須在測量精度和處理/分析時間之間找到平衡點。 
此外，為了準確地確定尺寸和范圍，顆粒應(yīng)均勻分布在過濾器表面上而沒有重疊，并以顆粒物所占的表面百分比來報告。
 

偏光片
交叉偏振器可用于消除金屬顆粒的反射，在這種情況下，金屬顆粒在明亮的背景上會顯得很暗。如果不使用偏光片，當亮區(qū)的亮度與背景濾光片的亮度相似時，就有可能將亮區(qū)和暗區(qū)的顆粒分成幾個顆粒。不使用偏光片時，非常接近的顆粒也可能會出現(xiàn)大小和形狀的變形，因為當它們靠近在一起時，相鄰的顆?？赡芸雌饋砗芟嗨?，類似于一個更大的顆粒。
 

顆粒長度和寬度
顆粒的大小和特征可以通過標準分析來確定。顆粒長度，即2條平行線之間的最大距離，F(xiàn)eretmax，其可以應(yīng)對于2個敏感元件[5]之間的距離，例如電引線，這意味著顆粒能夠“連接”它們。寬度或Feretmin是2條平行線[5,6]之間的最小距離，當它對應(yīng)的通道寬度足以使顆粒通過時，則表示存在潛在的危險。
 

纖維
纖維在制造過程中也是一個常見問題，但紡織纖維（例如來自服裝的纖維）的潛在破壞性弱于纖維狀顆粒物，因此應(yīng)將這些類型相互區(qū)分開來。通常，細長長度與最大內(nèi)徑之比大于20且內(nèi)徑小于50 µm的顆粒會被認為是纖維。
 

金屬顆粒
金屬顆粒是組件上最常見的污染物之一，由于其機械和電氣特性，它們對許多應(yīng)用具有高危害性。由于光學(xué)外觀的變化，基本標準光學(xué)方法無法可靠地識別金屬顆粒，需要使用擴展分析方法。
然而，可以使用非偏振光學(xué)系統(tǒng)進行第一次表征，通過其閃亮外觀（直方圖強度值接近白色的強度值的反射）識別金屬顆粒?？梢詧?zhí)行自動分析以確定閃亮顆粒是否為金屬，但只有在系統(tǒng)參數(shù)（鏡頭類型、放大倍率、其他參數(shù)設(shè)置等）和顆粒特征（顏色、粗糙度、均勻性等）相同時才能比較結(jié)果。如果滿足以下兩個要求，則可以使用此方法：
通過已使用的參數(shù)設(shè)置確定顆粒具有金屬光澤，但可能需要事先進行擴展分析加以證明
由專業(yè)的操作員目視確認自動表征結(jié)果
 

材料和設(shè)備
顆粒分析需要以下材料和設(shè)備：

• 顯微鏡

• 無偽影均勻光源發(fā)出的入射（反射）光

• 濾光片必須緊緊固定在樣品架上，最好用玻璃蓋壓平，以確保整個濾光片可以在特定放大倍率下成像

• 過濾器的定位使用電動裝置完成，精確性應(yīng)可以觀察到最小顆粒

• 鏡頭分辨率和相機傳感器的像素數(shù)應(yīng)匹配，以便可以應(yīng)用10 像素標準，即最小顆粒尺寸應(yīng)對應(yīng)于至少10個像素（參見圖1）