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六軸位移臺(tái)參數(shù)解讀

來(lái)源:上海昊量光電設(shè)備有限公司   2023年11月24日 13:52  

六軸位移臺(tái)參數(shù)解讀


六足運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域有著悠久的應(yīng)用歷史,但近年來(lái),傳統(tǒng)的6自由度(6-DOF)定位設(shè)備在面對(duì)行業(yè)對(duì)更高精度、更高可重復(fù)性和更好的幾何性能的需求時(shí)顯得有些不足?,F(xiàn)對(duì)一些ALIO位移臺(tái)參數(shù)細(xì)節(jié)做一些解讀,以便您理解ALIO六自由度位移臺(tái)對(duì)于傳統(tǒng)六足位移臺(tái)的提升。


準(zhǔn)確度(accuracy)


準(zhǔn)確度是指在特定三維空間中,實(shí)際位置與通過(guò)測(cè)量設(shè)備測(cè)量的位置之間的差異。對(duì)于測(cè)量設(shè)備而言,準(zhǔn)確度受到反饋機(jī)制(如ALIO六軸位移臺(tái)的光柵尺增量編碼器)、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(如滾珠螺桿、導(dǎo)桿、線性電機(jī))以及軸承路徑的準(zhǔn)確性的影響。


重復(fù)度(Repeatability)


可重復(fù)性被定義為在相同條件下,系統(tǒng)重復(fù)地被命令到同一位置時(shí)所達(dá)到的位置范圍。單向可重復(fù)性通過(guò)從一個(gè)方向接近該點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。雙向可重復(fù)性是測(cè)量系統(tǒng)能夠從兩個(gè)方向返回到該點(diǎn)的能力。


分辨率(Resolution)


分辨率被定義為系統(tǒng)的zui小可識(shí)別位移量。也分辨率由反饋裝置確定。


zui小步長(zhǎng)(Minimum Incremental Step Size)


被定義為系統(tǒng)的zui小可行移動(dòng)量,也被稱為步進(jìn)大小。


俯仰(Pitch):


俯仰是圍繞水平平面上與行進(jìn)方向垂直的軸的旋轉(zhuǎn)。如果所測(cè)量的感興趣位置不位于旋轉(zhuǎn)中心,則俯仰旋轉(zhuǎn)會(huì)引起兩個(gè)維度上的阿貝誤差。對(duì)于X軸,俯仰旋轉(zhuǎn)會(huì)在X方向和Z方向上引起阿貝誤差。對(duì)于Y軸,俯仰旋轉(zhuǎn)會(huì)在Y方向和Z方向上引起阿貝誤差。這些誤差的大小可以通過(guò)將偏移距離的長(zhǎng)度乘以旋轉(zhuǎn)角度的正弦值和1減旋轉(zhuǎn)角度的余弦值來(lái)確定


橫滾(Roll):


橫滾是圍繞與行進(jìn)方向平行的水平平面上的軸進(jìn)行的旋轉(zhuǎn)。如果所測(cè)量的感興趣位置不位于旋轉(zhuǎn)中心,則橫滾旋轉(zhuǎn)會(huì)引起兩個(gè)維度上的阿貝誤差。對(duì)于X軸,橫滾旋轉(zhuǎn)會(huì)在Y方向和Z方向上引起阿貝誤差。對(duì)于Y軸,橫滾旋轉(zhuǎn)會(huì)在X方向和Z方向上引起阿貝誤差。這些誤差的大小可以通過(guò)將偏移距離的長(zhǎng)度乘以旋轉(zhuǎn)角度的正弦值和余弦值來(lái)計(jì)算。


偏航(Yaw):


偏航是圍繞與行進(jìn)方向垂直的垂直平面上的軸進(jìn)行的旋轉(zhuǎn),即Z軸。如果所測(cè)量的感興趣位置不位于旋轉(zhuǎn)中心,則偏航旋轉(zhuǎn)會(huì)引起兩個(gè)維度上的阿貝誤差。對(duì)于X軸或Y軸臺(tái)。


圖片1.png


回程誤差(Backlash):


回程誤差是由行進(jìn)方向反轉(zhuǎn)引起的定位誤差。反向間隙是在行進(jìn)方向反轉(zhuǎn)時(shí)不會(huì)產(chǎn)生位置變化的指令運(yùn)動(dòng)部分。反向間隙是由傳動(dòng)系中元素之間的間隙引起的。隨著間隙的增加,產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)所需的輸入量也會(huì)增加。間隙的增加導(dǎo)致反向間隙誤差增加。反向間隙也會(huì)影響雙向可重復(fù)性。ALIO位移臺(tái)從系統(tǒng)設(shè)計(jì)上避免萬(wàn)向節(jié)消除了回程誤差,大大提升位移臺(tái)整體性能。


圖片2.png


直線度(Straightness):


直線度是指在水平平面上,相對(duì)于行進(jìn)方向的真實(shí)行進(jìn)線路的偏差。平整度是指在垂直方向上,相對(duì)于行進(jìn)方向的真實(shí)行進(jìn)線路的偏差。對(duì)于ALIO位移臺(tái),直線度和平整度參數(shù)都與位移臺(tái)的安裝表面有關(guān),請(qǐng)聯(lián)系昊量光電了解詳情。


跳動(dòng)(runout):


跳動(dòng)是旋轉(zhuǎn)機(jī)械系統(tǒng)的不準(zhǔn)確性,特別是工具或軸沒有wan 全與主軸線一致地旋轉(zhuǎn)。例如; 鉆孔時(shí),由于鉆頭偏心旋轉(zhuǎn)(離軸而不是成一直線),跳動(dòng)會(huì)導(dǎo)致孔大于鉆頭的標(biāo)稱直徑。對(duì)于軸承,跳動(dòng)會(huì)導(dǎo)致機(jī)器振動(dòng)并增加軸承負(fù)載。


跳動(dòng)有兩種主要形式:


徑向跳動(dòng)(Radial runout):由于工具在平行于機(jī)器軸線的情況下發(fā)生平移,徑向跳動(dòng)沿機(jī)器軸線的各個(gè)點(diǎn)測(cè)量結(jié)果相同。

 

軸向跳動(dòng)(Axial runout):由于工具或零件與軸線有角度,導(dǎo)致工具(或軸)jian 端相對(duì)于基準(zhǔn)位置偏離中心旋轉(zhuǎn)。軸向跳動(dòng)的大小取決于測(cè)量點(diǎn)與基準(zhǔn)位置的距離。

 

 

ALIO的6-D 納米精度工作臺(tái)的核心是串聯(lián)和平行運(yùn)動(dòng)學(xué)的結(jié)合,這使得傳統(tǒng)的六足運(yùn)動(dòng)學(xué)過(guò)時(shí)了,在精度、路徑性能、速度、剛度和更大的工作范圍(幾乎無(wú)限的XY行程,wan全可編程的工具中心點(diǎn)位置)方面都有數(shù)量級(jí)的改進(jìn)。

 

ALIO的Hybrid Hexapod®具有小于100納米的3維6軸點(diǎn)精度重復(fù)性,使其成為激光加工、光學(xué)檢測(cè)、光電子、半導(dǎo)體、計(jì)量和醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域以及所有微加工項(xiàng)目的關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)。



關(guān)于昊量光電:

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、光學(xué)元件等,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國(guó)防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶提供完整的設(shè)備安裝,培訓(xùn),硬件開發(fā),軟件開發(fā),系統(tǒng)集成等服務(wù)。


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