鎢燈絲掃描電鏡是一種電子顯微鏡,它利用高能電子束掃描樣品表面,產(chǎn)生多種物理信號,如二次電子、背散射電子等,通過探測器收集這些信號并經(jīng)放大后調(diào)制得到樣品表面的顯微圖像。
用途:
形貌觀察:通過鎢燈絲掃描電鏡可以觀察樣品的表面形貌,如表面粗糙度、顆粒大小等。
顯微結(jié)構(gòu)分析:鎢燈絲掃描電鏡可以觀察樣品的顯微結(jié)構(gòu),如晶粒大小、晶界清晰度等。
斷口形貌分析:對于斷裂的樣品,鎢燈絲掃描電鏡可以觀察其斷口形貌,分析斷裂原因。
成分分析:鎢燈絲掃描電鏡可以通過電子束與樣品的相互作用,產(chǎn)生各種物理信息,如X射線、俄歇電子等,從而進(jìn)行成分分析。
失效分析:對于失效的樣品,鎢燈絲掃描電鏡可以觀察其顯微結(jié)構(gòu)和斷口形貌,分析失效原因。
應(yīng)力分析:通過鎢燈絲掃描電鏡可以觀察樣品的應(yīng)力分布,如殘余應(yīng)力、工作應(yīng)力等。
相分析:鎢燈絲掃描電鏡可以觀察樣品的相組成,如固溶體、化合物等。
織構(gòu)分析:對于晶體材料,鎢燈絲掃描電鏡可以觀察其晶體取向和織構(gòu)類型。
劃痕分析:對于表面處理樣品,鎢燈絲掃描電鏡可以觀察其劃痕形貌,分析表面處理效果。
尺寸測量:鎢燈絲掃描電鏡可以測量樣品的尺寸,如長度、寬度、高度等。
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