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離子濺射儀常見的故障

來源:昆山瑞塞奇精密儀器有限公司   2023年09月01日 16:18  
  離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng),對于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時(shí),交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進(jìn)行清潔,之后試樣復(fù)原,再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料,有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料,氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。
  離子濺射儀常見故障
  故障現(xiàn)象:使用一段時(shí)間后,濺射電流變小
  解決方法:對靶材有無變色、破裂和油污等現(xiàn)進(jìn)行檢查。前兩者對靶材進(jìn)行更換,后者被油蒸汽污染,通過無水乙醇進(jìn)行清潔,等到干了以后才能夠抽真空。
  故障現(xiàn)象:在使用一段時(shí)間以后,有著過低的真空。
  解決方法:對濺射室中或管道內(nèi)是否有油進(jìn)行檢查,能夠使用汽油進(jìn)行清洗。
  故障現(xiàn)象:濺射電流不穩(wěn)定忽高忽低
  解決方法:陰極罩與靶的固定環(huán)有著過近的距離,將陰極罩逆時(shí)針旋轉(zhuǎn),對間距進(jìn)行調(diào)整。
  故障現(xiàn)象:有著過低的真空
  解決方法:將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊。

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