場發(fā)射掃描電子顯微鏡（FESEM）是電子顯微鏡的一種。該儀器具有超高分辨率，能做各種固態(tài)樣品表面形貌的二次電子像、反射電子象觀察及圖像處理。

該儀器利用二次電子成像原理，在鍍膜或不鍍膜的基礎(chǔ)上，低電壓下通過在納米尺度上觀察生物樣品如組織、細(xì)胞、微生物以及生物大分子等，獲得忠實原貌的立體感強的樣品表面超微形貌結(jié)構(gòu)信息。 具有高性能x射線能譜儀，能同時進(jìn)行樣品表層的微區(qū)點線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學(xué)組分綜合分析能力。

掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大、圖像更富立體感、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬等優(yōu)點而被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、無機非金屬材料及器件等的檢測。隨著我國經(jīng)濟的迅速發(fā)展，高校、科研單位、企業(yè)等大量引進(jìn)了場發(fā)射掃描電子顯微鏡。但是在掃描電子顯微鏡的使用過程中，特別是在安裝初期，使用者通常由于對電鏡的運行狀態(tài)缺乏系統(tǒng)認(rèn)識，經(jīng)常會遇到軟件死機、樣品臺被卡、真空問題等多種故障。解決方式一般為請維修工程師上門維修，除花費時間和費用外，也造成了對電鏡操作者的心里束縛。筆者以德國蔡司ULTRA　PLUS掃描電子顯微鏡為例，從環(huán)境條件、光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)及附件設(shè)施4個方面總結(jié)了熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡運行狀態(tài)的幾種檢查方法和維護(hù)保養(yǎng)經(jīng)驗。

場發(fā)射掃描電子顯微鏡（簡稱場發(fā)射掃描電鏡）是研究微觀世界的重要工具之一，為人們在微納米尺度上研究物質(zhì)的結(jié)構(gòu)提供了有力的手段，在材料科學(xué)等眾多學(xué)科領(lǐng)域及質(zhì)量過程控制中得到日益廣泛的應(yīng)用。

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