半導體技術和能力的進步為工業(yè)應用（特別是狀態(tài)監(jiān)控解決方案）檢測、測量、解讀、分析數(shù)據(jù)提供了新的機會?；贛EMS 技術的新一代傳感器與診斷預測應用的先進算法相結合，擴大了測量各種機器和提高能力的機會，有助于高效監(jiān)控設備，延長正常運行時間，增強過程質(zhì)量，提升產(chǎn)量。
為了實現(xiàn)這些新能力并獲得狀態(tài)監(jiān)控的益處，新解決方案必須準確、可靠、穩(wěn)健，以便實時監(jiān)控能夠擴展到對潛在設備故障的基本檢測之外，提供富有洞察力和可操作的信息。新一代技術的性能與系統(tǒng)級洞察力相結合，有助于人們更深入地了解解決這些挑戰(zhàn)所需的應用和要求。振動是機器診斷的關鍵要素之一，已被可靠地運用于監(jiān)控各種工業(yè)應用中的最關鍵設備。有大量文獻來支持實現(xiàn)高級振動監(jiān)控解決方案所需的各種診斷和預測能力。但是，關于振動傳感器性能參數(shù)（如帶寬和噪聲密度）與最終應用故障診斷能力之間關系的文獻則不是很多。本文介紹工業(yè)自動化應用中的主要機 器故障類型，并確定了與特定故障相關的振動傳感器關鍵性能參數(shù)。下面重點介紹幾種常見故障類型及其特性，以便深入了解開發(fā)狀態(tài)監(jiān)控解決方案時必須考慮的一些關鍵系統(tǒng)要求。所述故障類型包括但不限于不平衡、未對準、齒輪故障和滾動軸承缺陷。
不平衡是指質(zhì)量分布不均勻，會導致載荷使質(zhì)心偏離旋轉中心。系統(tǒng)不平衡可歸因于安裝不當（例如聯(lián)軸器偏心）、系統(tǒng)設計錯誤、部件故障，甚至碎屑或其他污染物的累積。舉例來說，大多數(shù)感應電機內(nèi)置的散熱風扇可能由于灰塵和油脂的不均勻積聚或扇葉損壞而變得不平衡。不平衡系統(tǒng)會產(chǎn)生過大振動，這些振動會機械耦合到系統(tǒng)內(nèi)的其他部件，如軸承、聯(lián)軸器和負載，進而可能導致處于良好運行狀態(tài)的部件加速劣化。整體系統(tǒng)振動增加可能表明存在由不平衡系統(tǒng)引起的潛在故障，但振動增加的根本原因需要通過頻域分析來診斷。不平衡系統(tǒng)以系統(tǒng)的旋轉速率（通常稱為1×）產(chǎn)生一個信號，其幅度與旋轉速率的平方成比例，F(xiàn) = m × w2 。1×分量在頻域中通?？偸谴嬖冢虼?，通過測量1x和諧波的幅度可以識別不平衡系統(tǒng)。如果1×的幅度高于基線測量且諧波遠小于1×，則很可能存在不平 衡系統(tǒng)。水平和垂直相移振動分量也可能出現(xiàn)在不平衡系統(tǒng)中。診斷不平衡系統(tǒng)時須考慮哪些系統(tǒng)規(guī)格？噪聲必須很低，以便降低傳感器的影響并支持檢測由不平衡系統(tǒng)產(chǎn)生的小信號。這對于傳感器、信號調(diào)理和采集平臺非常重要。為了檢測微小的不平衡，采集系統(tǒng)需要有足夠高的分辨率來提取信號（尤其是基線信號）。另外還需要足夠的帶寬來捕獲充分的信息（不光是旋轉速率），以提高診斷的準確性和可靠性。1×諧波可能受其他系統(tǒng)故障的影響，例如未對準或機械松動，因此分析旋轉速率（或1×頻率）的諧波可以幫助區(qū)分系統(tǒng)噪聲和其他潛在故障。用于慢速旋轉機器，基本旋轉速率可能遠低于10 rpm，這意味著傳感器的低頻響應對于捕獲基本旋轉速率至關重要。ADI公司的MEMS傳感器技術可以檢測低至直流的信號，并能夠測量較慢的旋轉設備，同時還能測量寬帶寬，以獲得通常與軸承和齒輪箱缺陷相關的更高頻率內(nèi)容。
S顧名思義，當兩根旋轉軸未對準時，就會發(fā)生系統(tǒng)未對準現(xiàn)象。圖2顯示了一個理想的系統(tǒng)，其中從電機開始對準，然后是軸、聯(lián)軸器，一直到負載（本例中是泵）。
未對準可以在平行方向和角度方向上發(fā)生，也可以是兩者的組合（參見圖3）。當兩根軸在水平或垂直方向上錯位時，稱為平行未對準。當其中一根軸與另一根軸成一個角度時，稱為角度未對準。
未對準誤差可能會迫使部件在高于最初設計能力的應力或負載下工作，從而影響更大的系統(tǒng)，最終可能導致過早失效。未對準誤差通常表現(xiàn)為系統(tǒng)旋轉速率的二次諧波，稱為2×。2×分量在頻率響應中不一定存在，但當它存在時，其與1×的幅度關系可用來確定是否存在未對準。增加的對準誤差可以將諧波激勵到10×，具體取決于未對準的類型、測量位置和方向信息。圖4突出顯示與潛在未對準故障相關的特征。
診斷未對準系統(tǒng)時須考慮哪些系統(tǒng)規(guī)格？
為了檢測細小的未對準，需要低噪聲和足夠高的分辨率。機器類型、系統(tǒng)和工藝要求、旋轉速率決定了允許的未對準容差。另外還需要足夠的帶寬來捕獲充分的頻率范圍，以提高診斷的準確性和可靠性。1×諧波可能受其他系統(tǒng)故障的影響，例如未對準，因此分析1×頻率的諧波有助于區(qū)分其他系統(tǒng)故障。這尤其適合于較高轉速的機器。例如，為了準確可靠地檢測不平衡，轉速超過10,000 rpm的機器（機床等）通常需要2 kHz以上的高質(zhì)量信息。多方向信息也能提高診斷的準確性，并有助于深入了解未對準誤差類型和未對準的方向。系統(tǒng)相位與方向性振動信息相結合，可進一步改善對未對準誤差的診斷。測量機器上不同點的振動并確定相位測量值之間或整個系統(tǒng)內(nèi)的差異，有助于深入了解未對準是角度、平行還是兩種未對準類型的組合。
滾動元件軸承缺陷通常是機械引起的應力或潤滑問題的假象，這些問題在軸承的機械部件內(nèi)產(chǎn)生小裂紋或缺陷，導致振動增加。圖5提供了滾動元件軸承的一些示例，并顯示了若干可能發(fā)生的缺陷。
滾動元件軸承幾乎在所有類型的旋轉機械上都會使用，從大型渦輪機到慢速旋轉電機，從相對簡單的泵和風扇到高速CNC主軸。軸承缺陷可能是潤滑污染（圖5）、安裝不當、高頻放電電流（圖5）或系統(tǒng)負載增加的跡象。故障可能導致災難性的系統(tǒng)損壞，并對其他系統(tǒng)部件產(chǎn)生重大影響。有多種技術可用來診斷軸承故障，并且由于軸承設計背后的物理特性，每個軸承的缺陷頻率可以根據(jù)軸承幾何形狀、旋轉速度和缺陷類型來計算，這有助于診斷故障。
對特定機器或系統(tǒng)的振動數(shù)據(jù)的分析，常常依賴于時域和頻域分析的結合。時域分析可用來檢測系統(tǒng)振動水平整體增加的趨勢。但是，這種分析包含的診斷信息非常少。頻域分析可提高診斷洞察力，但由于其他系統(tǒng)振動的影響，確定故障頻率可能很復雜。
對于軸承缺陷的早期診斷，使用缺陷頻率的諧波可識別早期或剛出現(xiàn)的故障，從而在災難性故障發(fā)生之前對其進行監(jiān)控和維護。為了檢測、診斷、了解軸承故障的系統(tǒng)影響，包絡檢測（如圖7所示）等技術與頻域中的頻譜分析相結合，通常可提供更具洞察力的信息。
診斷滾動元件軸承故障時須考慮哪些系統(tǒng)規(guī)格？
低噪聲和足夠高的分辨率對于早期軸承缺陷檢測至關重要。在缺陷剛剛出現(xiàn)時，缺陷特征的幅度通常很低。由于設計容差，軸承固有的機械滑動會將幅度信息傳播到軸承頻率響應中的多個倉，從而進一步降低振動幅度，因此要求低噪聲以便較早地檢測到信號2。帶寬對于軸承缺陷的早期檢測至關重要。在旋轉期間，每次撞擊缺陷時，都會產(chǎn)生包含高頻內(nèi)容的脈沖（參見圖7）。對軸承缺陷頻率（而非旋轉速率）的諧波進行監(jiān)測可發(fā)現(xiàn)這些早期故障。由于軸承缺陷頻率與旋轉速率之間的關系，這些早期特征可以在數(shù)千赫茲范圍內(nèi)出現(xiàn)，并延伸到10 kHz到20 kHz范圍之外 。即使是低速設備，軸承缺陷的固有性質(zhì)也要求較寬帶寬以便及早檢測到缺陷，避免系統(tǒng)諧振和系統(tǒng)噪聲（會影響較低頻段）的影響。動態(tài)范圍對于軸承缺陷監(jiān)測也很重要，因為系統(tǒng)負載和缺陷可能影響系統(tǒng)所經(jīng)受的振動。負載增加會導致作用在軸承和缺陷上的力增加。軸承缺陷也會產(chǎn)生沖擊，激發(fā)結構諧振，放大系統(tǒng)和傳感器所經(jīng)受的振動。隨著機器在停止/啟動情況下或正常運行期間的速度上升和下降，變化的速度會為系統(tǒng)諧振激發(fā)創(chuàng)造潛在的機會，導致更高幅度的振動。傳感器的飽和可能導致信息丟失、誤診斷，在某些技術的情況下甚至會損壞傳感器元件。齒輪故障通常發(fā)生在齒輪機構的齒節(jié)中，原因有疲勞、剝落或點蝕等。其表現(xiàn)為齒根出現(xiàn)裂縫或齒面上有金屬被削除。造成的原因有磨損、過載、潤滑不良和齒隙，偶爾也會因為安裝不當或制造缺陷而引起。齒輪是許多工業(yè)應用中動力傳遞的主要元件，承受著相當大的應力和載荷。齒輪的健康狀況對整個機械系統(tǒng)的正常運行至關重要?？稍偕茉搭I域有一個的例子，造成風力渦輪機停機（以及相應的收入流失）的最大因素是主動力系統(tǒng)中多級齒輪箱的失效。類似的考量也適用于工業(yè)應用。由于難以將振動傳感器安裝在故障附近，以及系統(tǒng)內(nèi)多種機械激勵引起的相當大背景噪聲的存在，齒輪故障的檢測很棘手。在更復雜的齒輪箱系統(tǒng)中尤其如此，其中可能有多個旋轉頻率、齒輪比和嚙合頻率。因此，檢測齒輪故障可能要采用多種互補的方法，包括聲發(fā)射分析、電流特征分析和油渣分析。在振動分析方面，加速度計通常安裝在齒輪箱殼體上，主要振動模式是軸向振動。健康齒輪產(chǎn)生的振動特征的頻率是所謂齒輪嚙合頻率，等于軸頻率和齒輪齒數(shù)的乘積。通常還存在一些與制造和組裝容差相關的調(diào)制邊帶。健康齒輪的這些情況如圖8所示。當發(fā)生齒裂紋之類的局部故障時，每次旋轉中的振動信號將包括系統(tǒng)對相對低能級的短時沖擊的機械響應。這通常是低幅度寬帶信號，一般被認為是非周期性和非靜態(tài)的。
由于這些特性，僅憑標準頻域技術并不能精確識別齒輪故障。由于沖擊能量包含在邊帶調(diào)制中，其中還可能包含來自其他齒輪對和機械部件的能量，因此頻譜分析可能無法檢測早期齒輪故障。時域技術（例如時間同步平均）或混合域方法（例如子波分析和包絡解調(diào)）一般更合適。
診斷齒輪故障時須考慮哪些系統(tǒng)規(guī)格？一般來說，寬帶寬對齒輪故障檢測非常重要，因為齒輪齒數(shù)在頻域中是乘數(shù)。即使對于相對低速的系統(tǒng)，所需的檢測頻率范圍也會快速上升到數(shù)kHz區(qū)域。此外，局部故障進一步擴展了帶寬要求。出于多種原因，分辨率和低噪聲極其關鍵。將振動傳感器安裝在特定故障區(qū)域附近是很困難的，這意味著機械系統(tǒng)可能會使振動信號發(fā)生較高程度的衰減，因此能夠檢測低能量信號至關重要。此外，由于信號不是靜態(tài)周期信號，因此不能依賴于從高本底噪聲中提取低幅度信號的標準FFT技術，傳感器本身的本 底噪聲必須很低。在混合了不同元件的多個振動特征的齒輪箱環(huán)境中尤其如此。除了這些考慮因素之外，早期檢測的重要性不僅僅是出于資產(chǎn)保護的原因，還出于信號調(diào)理的原因。已經(jīng)證明，單齒斷裂故障的情況與兩個或更多齒斷裂的故障情況相比，前者的振動嚴重程度可能更高，這意味著在早期進行檢測 可能相對更容易。
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