真空泵是利用機械、物理、化學(xué)、物理化學(xué)等方法對容器進行抽氣，以獲得和維持真空的裝置。真空泵和其他設(shè)備(如真空容器、真空閥、真空測量儀表、連接管路等)組成真空系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于電子、冶金、化工、食品、機械、醫(yī)藥、航天等部門。真空泵按結(jié)構(gòu)類型可分為機械式，噴射式和吸著式，凡是利用機械運動來獲得真空的泵稱為機械真空泵。按其工作原理及機構(gòu)特點分為變?nèi)菡婵毡煤蛣恿總鬏敱?，變?nèi)菔秸婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期性變化來完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵。這種泵分為旋轉(zhuǎn)式和往復(fù)式兩種，旋轉(zhuǎn)式真空泵利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子部件的旋轉(zhuǎn)運動將氣體吸入、壓縮并排出，主要有有以下4 類：(1)液環(huán)真空泵；(2)油封式真空泵；(3)干式真空泵；(4)羅茨真空泵。液環(huán)真空泵將帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時，把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菸艢馇弧９ぷ饕后w通常為水或油，所以亦稱為水環(huán)真空泵或油環(huán)真空泵。用水作工作液，極限壓強只能達(dá)到2000~4000 Pa。用油作工作液，可達(dá)130 Pa.

機械真空泵分類

2、油式旋片真空泵機構(gòu)與工作原理

　　油式旋片真空泵主要由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、定蓋、彈簧等零件組成。在泵腔內(nèi)偏心地安裝帶有旋片的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子槽中裝有旋片。轉(zhuǎn)子和旋片將定子腔分成吸氣和排氣兩部分。當(dāng)轉(zhuǎn)子在定子腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)時周期性地將進氣口方面容積逐漸擴大而吸入氣體，同時逐漸縮小排氣口一側(cè)的容積將已吸入的氣體壓縮并從排氣口排出[4]。旋轉(zhuǎn)時將真空泵油拋向泵殼形成于泵殼同心的油環(huán)，油環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菸艢馇?。圖2 所示為油式旋片泵的工作原理示意圖，泵其結(jié)構(gòu)是利用偏心地裝在定子腔內(nèi)的轉(zhuǎn)子(轉(zhuǎn)子的外圓與定子的內(nèi)表面相切兩者之間的間隙非常小)和轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動的借助彈簧張力和離心力緊貼在定子內(nèi)壁的兩塊旋片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，始終沿定子的內(nèi)壁滑動。