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電暈去污是利用高速活化電暈在高溫環(huán)境下與孔壁中的物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，電暈處理機(jī)維護(hù)保養(yǎng)達(dá)到去膠的效果，活化孔壁，引入親水性基團(tuán)，便于后續(xù)PTH沉積。低溫電暈技術(shù)越來(lái)越多地應(yīng)用于剛?cè)峤Y(jié)合板。低溫電暈技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用為微電子工業(yè)的產(chǎn)品質(zhì)量提供了有力保障，促進(jìn)了其產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的發(fā)展。
電暈處理機(jī)的常見(jiàn)問(wèn)題及解決方法
1、背電暈：對(duì)于厚度較薄的薄膜(<15μm)，在速度較快的情況下，薄膜背后有可能帶入空氣;此時(shí)薄膜背面的空氣會(huì)被電離，造成背電暈。
解決方法：考慮背輥改為驅(qū)動(dòng)輥，必要時(shí)同時(shí)添加壓輥;有些印刷機(jī)由此建立一個(gè)牽引單元(增加一段張力控制)。
2、薄膜幅寬方向左右處理不均勻：原因在于電極的間隙不均勻，間隙較大的一側(cè)，電暈處理不到或偏弱。
解決方法：此時(shí)要調(diào)整和校準(zhǔn)電極與背輥的間隙，正常間隙為1.5~2.0 mm 之間，超過(guò)2.0mm ，容易造成放電不足，處理不均勻。
3、電暈處理機(jī)發(fā)生器機(jī)柜過(guò)熱，原因有可能是風(fēng)扇濾網(wǎng)堵塞，或風(fēng)扇反轉(zhuǎn)。
解決方法： 需要定期清理風(fēng)扇及濾網(wǎng)，保證發(fā)生器機(jī)柜通風(fēng)。
4、臭氧味道大：原因是排放風(fēng)機(jī)風(fēng)量匹配不合適，或風(fēng)機(jī)反轉(zhuǎn)，管道不暢。
解決方法：臭氧風(fēng)機(jī)需要與電暈系統(tǒng)的功率匹配;安裝時(shí)確保風(fēng)機(jī)接線(xiàn)正確，避免反轉(zhuǎn);另外，要定期檢查風(fēng)機(jī)及管路。如果管道接入RTO系統(tǒng)，要保證足夠的風(fēng)量，避免排放流量不夠造成倒灌。
因此，定期清理電極架對(duì)保證電暈處理機(jī)的正常工作變得非常重要，尤其是在濕度大的季節(jié)。建議每1-2周檢測(cè)并清理一次電極，金屬電極可以采用毛刷清理，陶瓷電極及高壓端子可以用布蘸酒精清理，但避免用帶侵蝕性的溶劑清洗。
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