備有不同性能和形狀的豐富類型，適用于多種條件。
【噴嘴直徑】0.5, 0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0　(㎜)
【吸入流量】7～180　(L/min(ANR))

• 行業(yè)

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集成了所有功能的標準型。
【噴嘴直徑】0.5, 0.7, 1.0, 1.2　(㎜)
【吸入流量】7～50　(L/min(ANR))

• 行業(yè)

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實現(xiàn)了多種單元的模塊化，可根據(jù)用途進行選型的發(fā)生器單元。
【噴嘴直徑】0.5, 0.7, 1.0, 1.2　(㎜)
【吸入流量】7～50　(L/min(ANR))

• 行業(yè)

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帶破壞空氣流量＆溢流壓力調(diào)整針閥的真空發(fā)生器單元。
【噴嘴直徑(㎜)】0.5, 0.7, 1.0, 1.2
【吸入流量(L/min(ANR))】7～38

• 行業(yè)

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實現(xiàn)高速且穩(wěn)定響應(yīng)性的小型發(fā)生器單元。
小型、輕量，尤其實現(xiàn)了高度尺寸的緊湊化。
【噴嘴直徑】0.4, 0.5, 0.6　(㎜)
【吸入流量(L/min(ANR))】2～9.5

• 行業(yè)

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• 半導(dǎo)體制造工序（后工序）

10.5mm寬的緊湊本體，多連使用時也可緊湊安裝的真空發(fā)生器單元。
【噴嘴直徑】0.5, 0.7, 1.0　(㎜)
【吸入流量】3～26　(L/min(ANR))

• 行業(yè)

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適用于大流量控制的真空發(fā)生器單元。
【噴嘴直徑】0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0　(㎜)
【吸入流量】24～180　(L/min(ANR))

• 行業(yè)

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小型、輕量并大幅縮短了真空破壞時間的真空發(fā)生器單元。
省配線集成型。
【噴嘴直徑】0.5, 0.7, 1.0　(㎜)
【吸入流量】7～24　(L/min(ANR))

• 行業(yè)

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【停產(chǎn)產(chǎn)品】

• 行業(yè)

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