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掃描電鏡全稱掃描電子顯微鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。掃描電鏡可以分析纖維、紙張、鋼鐵質(zhì)量，觀察礦石結(jié)構(gòu)、檢測(cè)催化劑微觀結(jié)構(gòu)、觀看癌細(xì)胞與正常細(xì)胞差異等。
掃描電鏡是在加速高壓作用下將電子槍發(fā)射的電子經(jīng)過多級(jí)電磁透鏡匯集成細(xì)小(直徑一般為1~5nm)的電子束(相應(yīng)束流為10-11~10-12A)。在末級(jí)透鏡上方掃描線圈的作用下，使電子束在試樣表面做光柵掃描(行掃+幀掃)。
入射電子與試樣相互作用會(huì)產(chǎn)生二次電子、背散射電子、X射線等各種信息。這些信息的二維強(qiáng)度分布隨著試樣表面的特征而變(這些特征有表面形貌、成分、晶體取向、電磁特性等等)，將各種探測(cè)器收集到的信息按順序、成比率地轉(zhuǎn)換成視頻信號(hào)，再傳送到同步掃描的顯像管并調(diào)制其亮度，就可以得到一個(gè)反應(yīng)試樣表面狀況的掃描圖像。如果將探測(cè)器接收到的信號(hào)進(jìn)行數(shù)字化處理即轉(zhuǎn)變成數(shù)字信號(hào)，就可以由計(jì)算機(jī)做進(jìn)一步的處理和存儲(chǔ)。
掃描電鏡樣品種類繁多，特性各異。為了滿足電鏡的常規(guī)觀察，樣品制備應(yīng)該符合以下原則：
1.顯露出所欲分析的位置。
2.表面導(dǎo)電性良好，需能排除電荷。
3.不得有松動(dòng)的粉末或碎屑（以避免抽真空時(shí)粉末飛揚(yáng)污染鏡柱體）。
4.需耐熱，不得有熔融蒸發(fā)的現(xiàn)象。
5.不能含液狀或膠狀物質(zhì)，以免揮發(fā)。
6.非導(dǎo)體表面需鍍金（影像觀察）或鍍碳（成份分析）。
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