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Aston™ 質(zhì)譜儀通過數(shù)字分子分析推進(jìn)半導(dǎo)體過程控制
*半導(dǎo)體應(yīng)用的原位過程控制
上海伯東日本 Atonarp Aston™ Impact 和 Aston™ Plasma 是超緊湊型質(zhì)譜儀, 適用于*半導(dǎo)體工藝（如沉積和蝕刻）所需的定量氣體分析.
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Aston™ 質(zhì)譜儀解決了關(guān)鍵的原位計(jì)量問題
• 提高吞吐量: 端點(diǎn)檢測而不是基于時(shí)間的流程
• 提高產(chǎn)量: 以十億分之一的靈敏度測量沉積和蝕刻工藝期間的工藝氣體 / 副產(chǎn)物
Aston™ 質(zhì)譜儀*工藝的優(yōu)勢
ppb 級靈敏度的高速采樣
非常適合高縱橫比的 3D 結(jié)構(gòu)
耐腐蝕性氣體
堅(jiān)固緊湊
易于集成到工具平臺(tái)中
沉積應(yīng)用中: 實(shí)時(shí)過程氣體監(jiān)控，以驅(qū)動(dòng)自動(dòng)化工具調(diào)整以實(shí)現(xiàn)過程控制, 沉積步驟之間的終點(diǎn)檢測, 實(shí)現(xiàn)層的化學(xué)計(jì)量工程
蝕刻應(yīng)用中: 以 ppb 為單位測量的工藝氣體和副產(chǎn)品, 啟用端點(diǎn)腔室清潔
Atonarp Aston™ 技術(shù)參數(shù)
類型 | Impact-300 | Impact-300DP | Plasma-200 | Plasma-200DP | Plasma-300 | Plasma-300DP |
型號(hào) | AST3007 | AST3006 | AST3005 | AST3004 | AST3003 | AST3002 |
質(zhì)量分離 | 四級桿 | |||||
真空系統(tǒng) | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 |
檢測器 | FC /SEM | |||||
質(zhì)量范圍 | 2-285 | 2-220 | 2-285 | |||
分辨率 | 0.8±0.2 | |||||
檢測限 | 0.1 PPM | |||||
工作溫度 | 15-35“℃ | |||||
功率 | 350 W | |||||
重量 | 15 kg | |||||
尺寸 | 299 x 218 x 331 LxWxH(mm) | 400 x 240 x 325 LxWxH(mm) | ||||
Aston™ 質(zhì)譜儀半導(dǎo)體制造應(yīng)用
*的工藝 Sub-fab 安全性, 可持續(xù)性和節(jié)省優(yōu)化 |
| 沉積
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若您需要進(jìn)一步的了解 Atonarp Aston™ 在線質(zhì)譜分析儀詳細(xì)信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式：
上海伯東: 羅先生
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