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光學(xué)表面瑕疵檢測廣泛使用于布匹瑕疵檢測、工件表面質(zhì)量檢測、航空航天領(lǐng)域等。傳統(tǒng)的算法對規(guī)則缺陷以及場景比較簡單的場合，能夠很好工作，但是對特征不明顯的、形狀多樣、場景比較混亂的場合，則不再適用。近年來，基于深度學(xué)習(xí)的識別算法越來越成熟，把深度學(xué)習(xí)算法應(yīng)用到工業(yè)場合中。
表面疵病作為一種加工過程中人為造成的微觀局部缺陷,對光學(xué)元件的表面性能有著輕微的影響,從而有可能造成光學(xué)儀器運行錯誤等嚴重的后果?？傊?光學(xué)元件的表面疵病會對光學(xué)系統(tǒng)性能產(chǎn)生危害,其根本原因在于光的散射特性。
光學(xué)表面瑕疵檢測可避免以下危害：
(1)光束的質(zhì)量下降。元件表面缺陷處會產(chǎn)生光的散射效應(yīng),使得光束在通過缺陷后能量被大量消耗,從而降低了光束的質(zhì)量。
(2)缺陷的熱效應(yīng)現(xiàn)象。由于表面缺陷所處區(qū)域比其他區(qū)域容易吸收更多的能量,產(chǎn)生的熱效應(yīng)現(xiàn)象可能會使元件疵病發(fā)生局部變形、破壞膜層等,進而危害整個光學(xué)系統(tǒng)。
(3)損壞所處系統(tǒng)中其他光學(xué)元件。激光系統(tǒng)中,在強能量激光束的照射下,元件表面疵病產(chǎn)生的散射光會被系統(tǒng)內(nèi)的其他光學(xué)元件吸收,從而造成元件的受光不均勻,當(dāng)達到光學(xué)元件材料的損傷閥值時,會使傳播光線的質(zhì)量受到影響,光學(xué)元件損壞,更有可能造成光學(xué)系統(tǒng)被嚴重的破壞。
(4)疵病會影響視場清潔。當(dāng)光學(xué)元件上有過多的疵病時,會影響微觀的美觀度,另外,疵病還會殘留微小的灰塵、微生物、拋光粉等雜質(zhì),這將造成元件被腐蝕、生霉、生霧,會明顯影響元件的基本性能。
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