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大氣等離子清洗機(jī)包括等離子發(fā)生器，變壓器和等離子噴槍。等離子發(fā)生器是系統(tǒng)的核心控制部件，而噴槍可以根據(jù)工作環(huán)境的不同選擇固定噴槍、旋轉(zhuǎn)噴槍或雙頭旋轉(zhuǎn)噴槍。固定噴槍適合處理窄而深的處理面，而旋轉(zhuǎn)噴槍或多頭旋轉(zhuǎn)噴槍則適合寬幅的表面。
大氣等離子清洗機(jī)真空腔體保養(yǎng)
等離子腔體清潔時(shí)產(chǎn)生的污物大部分都接近電子級(jí)別，會(huì)隨著真空泵排除。但也會(huì)有一些大顆粒污染物產(chǎn)生。這些大顆粒污物會(huì)附著在腔壁、電極和托板架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”，腔底掉落更嚴(yán)重。對(duì)于腔壁用不可掉落的毛刷清潔使顆粒粉塵異物在腔壁脫落，用吸塵機(jī)將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭，其次腔體導(dǎo)入N2和O2，用等離子體清除腔體內(nèi)殘余物，工作10min。
電極與托板架的保養(yǎng)
托板架和電極長時(shí)間使用后會(huì)附著氧化層，同時(shí)采用等離子體處理烴基材料時(shí)，一段時(shí)間后在托板架、電極，RF導(dǎo)電桿上會(huì)積累一層薄的烴基殘留物，這些殘留物和氧化層是無法用酒精擦拭掉的。應(yīng)依據(jù)附著物的量對(duì)電極、托板架進(jìn)行翻新維護(hù)能保證清洗的穩(wěn)定。清洗材料要求：氫氧化鈉、硫酸、城市用水和蒸餾水。注意：不要使用手磨機(jī)、砂紙或磨蝕性噴砂處理等機(jī)械方法清潔；氫氧化鈉溶液會(huì)與鋁發(fā)生劇烈的化學(xué)反應(yīng)，應(yīng)小心謹(jǐn)慎以確保僅在所需的時(shí)間內(nèi)清除沉積物；反應(yīng)中會(huì)生成具有潛在爆炸性的氫氣，因此工作區(qū)域應(yīng)保持良好的通風(fēng)。
真空泵的保養(yǎng)
查看真空泵油位和油的純度，觀察油位視窗，發(fā)現(xiàn)油位接近很低紅線刻度，加油到紅標(biāo)線上下之間位置。
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